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第 卷 第 期 光学 精密工程 １５ １０ 　 Ｖｏｌ．１５ Ｎｏ．１０ 　 　 　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　 　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００７ １０ Ｏｃｔ．２００７ 　 　 　　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００７１０１５４００７ 　 直线电机驱动的 型气浮导轨运动平台 犎 １ ２ 刘 强 ，张从鹏 　 （ 北京航空航天大学 机械工程及自动化学院，北京 ； 北方工业大学 机电工程学院，北京 ） １． １０００８３２． １０００４１ 摘要：建立了双边直线电机驱动的 型气浮精密定位平台，对该精密定位系统的气浮导轨设计方法和双边直线电机同 Ｈ 步运动控制等关键技术进行了研究。利用有限元法设计了气浮导轨，分析了气膜压力场的分布情况，采用预加载技术提 高气浮导轨的承载能力和刚度等性能。静态特性实验表明，开发的定位平台气浮导轨具有较高的承载能力和刚度， 、 犡犢 导轨的竖直方向静刚度为 ／ 和 ／ 。设计了基于同步速度偏差的改进型并联结构同步控制器，采用 ２７６．９Ｎ ｍ ３３３．３Ｎ ｍ μ μ 模糊控制实现 ＰＩＤ参数的自适应在线整定。运动实验表明，改进的控制器具有较高的同步控制精度，速度同步精度比一 般同步控制提高了 倍多，适合于具有强机械耦合的多电机同步运动控制。 型直线电机气浮定位平台具有承载能力 ３ Ｈ 强、精度高的优点，可以用于光刻机和光学检测等精密工程领域。 关 键 词：直线电机； 型运动平台；同步控制；气浮导轨；预加载 Ｈ 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ＴＨ１３３．３５ＴＰ２７３ Ａ 　　 犎狋犲犪犻狉犫犲犪狉犻狀 犿狅狋犻狅狀狊狋犪犲犱狉犻狏犲狀犫犾犻狀犲犪狉犿狅狋狅狉狊 狔狆 犵 犵 狔 ， ＬＩＵＱｉａｎ ＺＨＡＮＧＣｏｎｅｎ ｇ ｇｐ ｇ （ ， ，