材料分析化学课件第三章3-中科大版.ppt

§3-4电子能谱(Photoelectron spectroscopy PES） 电子能谱学是多种技术集合的总称。基于分析各种冲击粒子（电子、离子、原子等）和光子与原子、分子等碰撞后产生的电子能量。近二、三十年科学技术的发展，特别是材料科学的发展和表面分析的需求，大大推动了电子能谱的发展。 一、电子能谱概论 1.光电效应：当一定能量的电子、紫外光、x光等作用于样品时，可将样品表面原子不同能级的电子激发成为自由电子（光电效应），1887年Hertz首先观察到这一现象，Einstein 对光电效应进行过深入研究： 光电子发射定律 hν = mvm2/2+ A0 电子获得能量 初动能 逸出功 hν = Eb + Ek 入射光能量 电子能级 光电子动能 结合能 这些电子带有样品表面信息，收集这一类光电子并研究其能量分布，就是电子能谱分析。 UPS(Ultra violet photoelectron spectroscopy) 紫外激发光源，可激发外壳层光电子，研究气体分子价电子、固体价电子结合能 XPS(X-ray)， 单色X光激发源，内层电子结合能及相关化学位移 AES（Auger）， 高能电子束激发光源，元素及状态分析 EIS,ELS(Electron Impact )(Impact Energy Loss) 2.ESCA （ Electron spectroscopy for chemical analysis ） 1954年，瑞典Uppsala大学物理研究所所长Siegbahn首先利用电子能谱方法研究化学位移效应，创立了电子能谱分析方法。 Na2S2O3 中两个S原子的价态 1965年，他将这一分析方法命名为ESCA（XPS）。1967－1969年， Siegbahn出版了两本有关电子能谱的专著，奠定了电子能谱分析的基础，宣告现代分析化学一个新领域的诞生。1981年Nobel奖 UPS－1960年D Turner建立 化学位移 Na2S2O3 和Na2SO4的 S2p XPS谱图 电子能谱探测的对象是从固体表面层（相）射出的，携带着表面层的大量信息（表面元素组成、结构、化学键合方式、表面振动形式等）的电子，在现代与表面有关的分析技术中占有特别重要的地位。 二、电子能谱分析仪器 1.超高真空系统 超高真空系统是电子能谱分析最重要的部分之一（也是几乎所有表面和显微分析最重要的系统）。谱仪的光源、样品室、分析室都应处于超高真空系统中。保证电子在顺利通过电子透镜、分析器并进入探测器的整个飞行过程中不与空间残余气体碰撞而改变自身能量。 真空度一般要优于10－3Pa（ 10－5 Torr） 一般采用多级泵联用（机械泵、分子泵、离子泵，Ti升华泵等等） 2.激发源 激发源最佳是同步辐射源： 10 eV－10 keV连续可调，自然线宽0.2 eV，信号强度高，对内层、价层电子均有效，性能优越 UPS ：气体分子、固体价电子20－40 eV， He I,II线，线宽0.01 eV 电子枪：2－5 keV，主要用于Auger 电子能谱 X－ray 源： 最常用，1 keV, 线宽0.8 eV，内层和价层电子。 阴极加热W丝，产生热电子发射，当施加负高压时，电子加速流向阳极。高能量电子轰击阳极，产生X－ray，由铍窗射出。 靶材料：xps中最常用Mg/Al双阳极靶 产生的K线分别为：Mg Kα1 1253.7 eV Kα2 1253.4 →Kα 1253.6 (0.7) Al 1486.7, 1486.3 →Kα 1486.6(0.85) XPS分析中常用的K线 §3-4电子能谱(Photoelectron spectroscopy） 三、与电子能谱分析相关的几个概念 1.光电截面 2.Koopmans 理论 3.自旋－轨道分裂 4.电子结合能 5.化学位移 6.伴线 光电截面σ与电子所在壳层的平均半径(r)、入射光子频率(ν)和受激原子的原子序数(Z)等因素有关。对不同元素， σ随原子序数的增加而增大。 Al Kα激发时， σ与原子序数关系： Z 3 4 5 6 7 8 9 11 12 σ 1.1 4.2 11 22 40 64 100 195 266