培训系列之1(杨乃恒)：真空技术发展概况.ppt

真空技术发展概况 主讲人：杨乃恒 《真空技术》 一. 真空技术发展概况 （杨乃恒） 二. 真空工程理论基础 （孙丽娜） 三. 真空系统设计 （刘坤） 四. 低真空获得设备 （张以忱） 五. 清洁真空获得技术 （巴德纯） 六. 中真空获得设备 （张以忱） 七. 高真空与超高真空获得设备 （杨乃恒） 八. 真空测量 （刘玉岱） 九. 真空检漏 （刘玉岱） 十. 真空镀膜（一）：PVD物理气相沉积 （张以忱） 十一. 真空镀膜（二）：CVD化学气相沉积 （张世伟） 十二. 真空冷冻干燥技术 （徐成海） 十三. 真空设备的自动化控制 （王庆） 十四. 真空材料与真空卫生 （张以忱） 真空技术发展概况 一.前言 二.真空的概念与真空技术的发展 三.真空技术的应用 四.结束语 一.前言 “真空技术”作为独立的学科体系，诞生于19世纪末20世纪初。20世纪中期，随着电子器件、原子能、航天技术对真空条件的需求，推动了真空技术的长足进步。 现在，在我们身边利用真空技术的日用品到处可见。例如真空保温杯，保温饭盒，暖水瓶；在食品方面就更多了，如真空罐装液体，真空挤奶，真空干燥食品，真空包装，真空炸制食品等，举不胜举。 压差力的利用如电除尘器，高楼擦玻璃的机器人，板材的运输等（如Al板、Cu板、玻璃板的运输）。 电子管和电视显像管（电子束管），利用绝热效果的不锈钢制的罐、杯、碗，真空包装食品，真空下使之干燥的食品等为代表的物品。 现在最尖端的科学技术的进展，很多受真空技术所支配的。人类的最终的能源是核聚变，探索物质结构的大型粒子加速器，今后会更加发展，预期航天技术等大科学中适用高度的真空技术，再有超晶格等新材料的合成，真空技术是不可缺少的。 真空技术是和这些最尖端的科学技术相辅相成发展的。例如热聚变的研究需要有超高真空环境、容积100m3以上的真空容器的制造，真空度有很大提高。现在10-11Pa的极高真空很容易去获得。这样一来，真空技术从日用到最尖端的科学技术得以广泛的适用。 在此，首先说明真空的概念及其发展经过，其次叙述真空的获得技术和检测技术的要点，最后对所有的真空应用领域加以具体实例来说明。与真空有关的作为大科学的核聚变、大型加速器和宇宙航天技术，这些简要的加以说明。 二.真空的概念与真空技术的发展 2.1 何谓真空 2.2 真空技术的历史 2.3 真空的获得和测量技术 2.1 何谓真空 真空的定义: 比大气压低的压力状态，不是任何东西都没有的虚无的空间。从比大气压（约105Pa）低的状态到虚无的绝对真空（0Pa）为止的宽广的领域。 表示真空的程度的基准是必要的。压力和温度分别为1个标准大气压、0℃时，1摩尔的气体分子有22.4升的体积存在的场合，把它称为标准状态。 作为表示真空的单位，现在用Pa（帕斯卡）作为单位，原来的是用Torr（托）作为真空的单位，现在均统一用Pa。 Pa与Torr的关系如下： 2.2 真空技术的历史 近代科学的开花期的17世纪，托里拆利、波义耳和哥里克等人建立了空气动力学法则和真空泵的开发。 由于真空技术的飞速发展，用炭素灯丝发明了白炽灯泡（1875年），为了使灯丝的寿命长，使灯泡内含O2少而采用真空抽气的办法。 真空技术发展史的主要阶段 历史上有确切记载的，可以认为真空技术的历史开始于1643年。当时，托里拆利（Torricelli）将一端密封的长管注满水银并倒置在盛有Hg（汞）的槽里时，发现了密封的玻璃管中760mm水银柱顶端产生的真空。 真空技术的初创时期延续到电灯泡的发明。在这段时期内，在气体定律的基本原理方面，取得了重大的理论和实践的科学技术突破。如玻义耳-马里奥特，查理，盖.吕萨克，伯努利，阿佛加德罗，麦克斯韦，玻尔兹曼等人的成就。 真空实际使用的第一个进展，是和利用真空与大气之间的压力差所产生的机械作用力联系在一起的。葛利克用一个由两个半球合成直径为119cm球体，内用真空泵抽空，在大气压力作用下在其两边各用8匹马而不能拉开的这个经典实验证明了大气的力量。（此即所谓的马德堡半球实验）。后人把这个原理用于真空邮递线和真空铁路运输。 爱迪生对白炽灯的研制（1879年）也是早期发明排气系统所产生的结果。（Toepler, Sprengel） 白炽灯表明了低分子密度的用途（除去大气的活性组分）。 麦克劳真空计（1874年）第一次使测量低压成为可能。 克鲁克斯（Crookes，1879）的阴极射线管是增大了的平均自由程的第一次利用。 而杜瓦瓶（Dewar，1893）则是真空绝热的首次使用。 真空二极管（1902）、三极管（1907）以及钨丝（1909）的发明，开始了电子管的研制，并使白炽灯的研制日益成熟。在白炽灯生产中使用的真空的“质量”在电子管的新领域内显得不