体硅加工的压电式微加速度计的设计.PDFVIP

第2l卷 第2期 传 感 技 术 学 报 、 1．2l No．2 2008年 2月 CHINESE JOIl『{NAI，OF sENS0RS AND AC兀IAT0RS Feb．2008 DesignofA Bulk-M icromachinedPiezoelectricAccelerometer YANG Hui，LJW ei—hong，GUOH ang (PewTungSahMEMSResearchCenter，XiamenUniversity，XiamenFujian361005，China) Abstract：A bulk-micromachinedpiezoelectricaccelerometerisproposedanddesigned，inwhichthebulk- micromachinedsiliconseismicmassiSsuspendedbythecantileversandpartofcantileveriScoveredwith ZnO piezoelectricthinfilm．Startingfrom th