体硅加工的压电式微加速度计的设计.PDF

第2l卷 第2期 传 感 技 术 学 报 、 1．2l No．2 2008年 2月 CHINESE JOIl『{NAI，OF sENS0RS AND AC兀IAT0RS Feb．2008 DesignofA Bulk-M icromachinedPiezoelectricAccelerometer YANG Hui，LJW ei—hong，GUOH ang (PewTungSahMEMSResearchCenter，XiamenUniversity，XiamenFujian361005，China) Abstract：A bulk-micromachinedpiezoelectricaccelerometerisproposedanddesigned，inwhichthebulk- micromachinedsiliconseismicmassiSsuspendedbythecantileversandpartofcantileveriScoveredwith ZnO piezoelectricthinfilm．Startingfrom thefundamentaloftheaccelerometer，wederivetheone-dimen— sionalanalyticalmodelofthepiezoelectriccantilevertostudythefactorsaffectingthesensitivityoftheac- celerometer．Basedonthese，finiteelementmethodinANSYSiSusedtodesignthepracticalmicroacceler— ometers．Totally，6differentstructuresofthemicroaccelemetersareinvestigated，whicharel—cantilever， 2一cantilever，and4一cantileverforoneanddual—seismicmassblock，respectively．Theresultsshow thatthis typeofbulk-micromachinedpiezoelectricaccelerometercanownhighsensitivityandwideworkingrangeto meetrequirementofsomeapplicationsinaerospaceandmechanicalshock inspectionforvehicles． Keywords：MEMS；bulk-micromachining；piezoelectricmicroaccelerometer；zincoxide EEACC：7230 体硅加工的压电式微加速度计的设计* 杨 慧，李伟红，郭 航 (厦门大学 萨本栋微机电研究中心，福建 厦门 361005) 摘 要 ：提出并设计了一种采用体硅微制造工艺制造的压电式微加速度计，其中体硅加工的硅质量块由悬臂梁支撑且悬臂 梁部分区域沉积Zn0压电薄膜。通过对压电悬臂梁建立一维解析模型，研究了影响加速度计灵敏度的结构因素。在此基础 上，利用有限元方法软件 ANSYS设计了实际的微加速度计 ，并对六种不同的微加速度计结构进行了分析，得到了不同结构微 加速度计的工作频率范围及灵敏度结果。 关键词 ：MEMS；体硅微加工工艺；压电式微加速度计；氧化锌 中图分类号：TP212 文献标识码 ：A 文章编号：1004-1699(2008)02-0237-04 采用MEMS技术制造的微加速度计 由于体积 度计，并对微加速度计的三个最重要参数——灵敏 小、功耗低、成本低等优点，广泛应用于汽车工业、消 度、量程及工作频率范围进行了分析。 费电子及生物医学仪器等领域。目前，大多数微加 1 压 电式微加速度计的结构设计 速度计的敏感单元采用表面微加工工艺制作，其缺 点是灵敏度较低、抗冲击能力差、噪声较大。对于一