hispec系列hi2000型压力传感器主要是采用sos制造工艺.pdf

c HISPEC○ 系列HI2000型高性能硅-蓝宝石压力传感器 * 独创性的技术性能 * 全部采用硅-蓝宝石应变片 * 良好的长期稳定性 * 优良的温度补偿性能 * 高精度 * 钛/不锈钢结构 * 运行温度-50℃至150或200℃ * 测量范围0-1bar至0-1000bar 产品简介 HISPEC 系列 HI2000 型压力传感器主要是采用 SOS 制造工艺，它具有很高的精 度，同类产品不是性能不佳就是价格过高。 该产品的硅应变化片电阻器是外延地生长在蓝宝石膜片表面的，并成为一种辐 射状硬化结构。这种结构除无滞后效应及其它优良性能外，还可以防护来自脉冲电 磁场对应变得感应。 敏感元件结构采用BT9钛合金压力孔和膜片完整和蓝宝石膜片配合在一起。因 此这种钛蓝宝石结构的敏感件能在高温及低温条件下都能保持其稳定性。 典型的应用实例如：高温条件下喷气式发动机或其他机械的运行试验、过程监 视、油或气体压力检测 、水下探测，军事或其他高温领域或温度变化条件下压力精 确数据的测量。 目前可直接供货的产品压测范围为0-1bar到1-1000bar，数据输出0-100mv， 0-5V以及0-10V。 ESI Ellison sensors international Sensor House, Wrexham technology Park,Wrexham, LL137YP, Wales, UK 中国总代理：北京东方新动力机电设备有限公司 c HISPEC○ 系列HI2000型高性能硅蓝宝石压力传感器 技术说明 HI2000/HI2010-（0-100mV 输出） 压力输入 绝缘电阻：100MΩ 压力范围：0-1bar 至0-1000bar 响应时间（63%）：0.2ms 压力基准：表压 工作环境 过载能力：150%F.S.O（1000bar 以下） 使用温度：-50 至+150℃或+200℃ 110%F.S.O（1000bar） 储藏温度：-65 至+165℃ 数据输出 热效应零点：＜±0.005%F.S.O/℃ 灵敏度：10mV/V（常规），四线 热灵敏度：＜±0.005%F.S.O/℃ 范围：0-100mV 振动容限：＜±0.02%/g 常态电压：DC2-4V 加速度容限：＜±0.02%/g 精度特性 机械冲击容限：15g 零点偏移：＜±10mV 相对湿度：95% 量程容限：＜±30%F.S.O 物理特性 非线性：±0.2%F.S.O 接口尺寸：1/4”BSP 外螺纹（其他另订） 重复性：＜±0.1%F.S.O 电气连接：HI2000 直接出屏蔽线 稳定性：＜±0.2%F.S.O/6 月