近太赫兹频段线性注真空器件的研究 - 太赫兹科学与电子信息学报.pdf

第 13 卷 第 5 期 太赫兹科学与电子信息学报 Vo1．13，No．5 2015 年 10 月 Journal of Terahertz Science and Electronic Information Technology Oct．，2015 文章编号：2095-4980(2015)05-0684-08 近太赫兹频段线性注真空器件的研究 冯进军，蔡 军，胡银富，李含雁，杜英华，唐 烨，李莉莉，潘 攀 (北京真空电子技术研究所 微波电真空器件国家重点实验室，北京 100015) 摘 要： 介绍了太赫兹频段真空电子器件的研究和开发进展，包括慢波结构理论、设计、模 拟及优化，微加工和微组装技术，整管技术等。这些器件包括行波管、返波管、斜注管、止带振 荡器及行波管谐波放大器等，高频结构以折叠波导慢波结构为主，在太赫兹返波管中则利用叶片 加载波导慢波结构。器件技术包括微机电系统(MEMS) 技术，微波等离子体化学气相沉积(MPCVD) 金刚石生长、金属化和封接技术等。最后给出 W 波段、G 波段以及 340 GHz 部件和器件所达到的 性能。 关键词： 太赫兹；行波管；返波管；微机电系统技术；金刚石 中图分类号：TN752 文献标识码： A doi ：10.11805/TKYDA201505.0684 Research of near-terahertz linear-beam vacuum electronic devices FENG Jinjun，CAI Jun，HU Yinfu，LI Hanyan，DU Yinghua，TANG Ye，LI Lili，PAN Pan (National Key Laboratory of Science and Technology on Vacuum Electronics，Beijing Vacuum Electronics Research Institute， Beijing 100015，China) Abstract： The research and development activities of near-terahertz linear beam vacuum electronic devices are described, including slow wave structure theory, parts design, simulation and optimization, micro-fabrication and micro-assembly techniques, tube integration technologies, etc. These devices include Traveling Wave Tubes(TWTs), Backward-Wave Oscillators(BWOs), clinotrons, Stop-Band Oscillators and TWT harmonic amplifiers, etc with folded waveguide and vane-loaded waveguide as high frequency interaction structures. The devices technologies are mainly composed of Micro Electro Mechanical System(MEMS) technology, Microwave Plasma Chemica