透射式金属光栅耦合spr传感器 transmissive metal grating coupled spr sensor.pdfVIP

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2017-08-18 发布于上海
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透射式金属光栅耦合spr传感器 transmissive metal grating coupled spr sensor.pdf

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透射式金属光栅耦合spr传感器 transmissive metal grating coupled spr sensor

斯型半导仿器忤 SemioonduotorDevic∞ Novel DOI：10．3969／j．issn．1003—353x．2012．06．009 透射式金属光栅耦合SPR传感器刘帆1’2，苑进社1，李海军2 (1．重庆师范大学物理与电子工程学院，重庆40133l； 2．中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，苏州215123) nm nm 摘要：用磁控溅射技术在双面抛光的蓝宝石衬底上沉积了20 Ti和100Au的金属薄膜，通过标准光刻工艺制备出1．6和2．0“m两种周期结构的一维光栅表面等离子体共振(SPR) 传感器。用时域有限差分算法(FDTD)模拟仿真并结合实验测试的透射光谱，研究分析了不同周期结构的金属薄膜光栅型SPR传感器的特性。基于金属光栅耦合，利用表面等离子体激元 (SPP)的局域特性和光栅的选频特性，实现了SPR传感器的信号增强和滤波功能。研究结果表明。利用金属薄膜光栅表面介质的变化引起的光栅透射光谱中激发表面等离子体共振峰的位置变化，可以获得被测物体的物理、生物和化学等相关特征信息。关键词：SPR传感器；表面等离子体激元；金属光栅；透射；共振峰中图分类号：TNP212文献标识码：A TransmissiveMetal SPRSensor GratingCoupled LiuFan Jinshe 1”，Yuan 1，LiHaijun2 Normal 401331．China； (i．OepanmemofPhysics，ChongqingUniversity，Chongqing andNano-Bionics，Chinese 2．Suzhou蛔缸讹o，Nano—Teeh Academy矿Sciences，Suzhou215123，China) 20nmTiand100nm Abstract：Themetalfilmswith Auwere using compound deposited substratesand ondouble-sided onedimension magnetronsputteringtechnology polishedsapphire grating surface with1．6 and2．0 structureswerefabricated plasmonresonance(SPR)sensorsp,m Ixmperiodic standard useof withfinite·differencetime-domain by lithographytechnique．Bymaking simulating thetransmission characteristicsofthemetalfilm SPRsensor (FDTD)and testing spectra，the grating with structures