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退火温度对cotio2微结构和磁特性的影响 influence of annealing temperature on cotio2 magnetic properties and microstructure
退火温度对CoTl02微结构和磁特性的影响
曲蛟1,贾利云1,许佳玲1,侯登录2
(1.河北建筑工程学院数理系,河北张家口075024
2.河北师范大学信患与物理科学学院,石家庄050016)
摘耍:为了研究在稀释磁性半导俸CoTi02薄膜中不同退火滠度对薄膜结梅和磁性的影响,
遥过磁控溅射方浃和愿位遮火工艺期备了COTi02薄貘样品。然后载翅扫糖擐赞夏缀镜疚及振爱
样品磁强计砖所制得的薄髓样品磁蛀争微结构的变化进行了研究。研究发现,熬处理滠度对薄膜
的微结构和磁性能有很失的影响。扫描探针溉微镜对样品的微结构分析结果表明,在400℃时磁
性相的分布比较均匀,Co掺杂到7H02结构当中且没有co颗粒或闭簇;振动样品磁强计测量样品
的磁性能结暴显示该样品典有明显的室温铁磁性。
关键词:稀磁半导体;磁性;CoTi02薄膜
巾豳分类号:0482。5文献标识码:A 文章编号:1003.353X(2008)鹪-0688-03
Influence
of on
AnnealingTemperatureCoTi02Magnetic
andMicrostructure
Properties
铷Jia01,JiaLiyunl,XuJialin91,HouDeng]u2
l。Hebei C/v/2
Instate矿Arch/zeca辨andEag/aeer/ag,霸绷融拓075024,Ch/na;
sc话麟and Normal
2.CollegeofPhyk3 InformationEngineering,tlebei
orderto theinfluenceof on
Abstract:In and
study annealingtemperatureCoTi02magnetic
properties
thin
filn鸦havebeenfabricated substratesDC
mlcrostmcture,COTi02 011套lass by facing-targetnlutgnetron
and annealedinsirevacuum.The anddomainstructureswereobserved
sputteringsubsequently morphologies
weremeasured
byscanningprobemicroscopemagneticproperties byvibratingsample
showthatthemicrostmctu雌and ofthefilmsare affected
magneticproperties greatly byannealing
at400℃.the showedsmoothsurfaceand domain.Thereisno
temperature.Annealedsample apparent
evidenceforeitherelementalCoortheclusterofmetalCointhefdms.The hasbeenobtained
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