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微悬臂梁传感器及其在生化领域的应用 microcantilever-based sensors and their chemical and biological applications
电字工业专用设
·趋势与展望· 孽国目
微悬臂梁传感器及其在生化
领域的应用
朱清溢1，李志刚2，欧毅：，黄钦文：，陈大鹏：
(1．四川信息职业技术学院电子工程系，四川广元628017
2．中国科学院微电子研究所。北京100029)
摘 要：微悬臂梁传感器以其体积小、成本低、灵敏度高等优点在生物化学领域获得了广泛的研
究和初步应用。详细阐述了微悬臂梁传感器的工作原理，包括其工作模式、读出技术、设计与制造
等内容。并在此基础上对微悬臂梁传感器在生物化学领域的应用作了介绍。
关键词：微悬臂梁；传感器；读出技术
中图分类号：TN40 文献标识码：A
Microcantilever—basedSensors
andTheirChemical
and
Biological
Applications
ZHU YF，HUANG
Qing-yil，LIZhi—gan92，OU Qing-wen2，CHENGDa-pen92
Information
(1．Sichuan TechnologyCollege，Ouangyuan628017，Chma；
2．Instituteof of 1
Microelectronics，Chme∞AcademySciences，Beijmg00029，China)
Abstract：Microcantilever-basedsensors
havebeen researchedand tobe
widely begun usedin
and duetotheir suchassmall
chemistrybiology costand
advantages volume，lowhighsensitivity．In
this of
paper，the microcantilever-basedsensorswasintroducedin
principle their
detail，including
workingmode，read。out and ere．Thentheir in
technology，designmanufacturing applicationschemistry
and were
biologypresented．
Keywords：Microcamilever；Sensor；Read．out
technology
1 引言 成可用信号的特殊装置，它在信息处理系统中占
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