线性电机在高速粘片机芯片拾放机构中的应用 application of linear motorpicking and placement mechanism in high-speed die bonder.pdfVIP
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线性电机在高速粘片机芯片拾放机构中的应用 application of linear motorpicking and placement mechanism in high-speed die bonder
电子工业毫用设备
·封装技术与设备· 圈
线性 电机在高速粘片机芯片
拾放机构中的应用
郭强生
(中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京东燕郊101601)
摘要:论述了高速粘片机核心部件芯片拾放机构的工作原理以及美国SMAC线性电机的特性,
采用线性电机驱动芯片拾放机构,实现了对芯片的高速、高精度和柔性拾放技术。
关键词:高速粘片机;线性电机;柔性拾放
中图分类号:TM359.4 文献标识码:A
ofLinearMotor:
Application
and MechaIlismin DieBonder
Picking
PlacemeHt High—speed
GU0
Qiang-sheng
45mInstitute East
(The ofCECT,BeijingYaIljiao101601,Chilla)
Abstract:Theauthori11ustratesthe ofchip andP1acementMechanism
workingprinciple Picking
mo“lein Die the
core characteristicsofAmericanSMAClinear
(PPM)一the Bonder,and
hi曲一speed
the ofthelinearmotoron PPM,the
motor.Byapplication chip techn0109y,chip’shi曲speed,high
andsoR and achieVed.
contrDl,is
precision pickingplacement
Die and contr01
Bonder;LinearMotor;Soft
Keywords:High—speed pickingplacement
1 引言
DA、QFN、印制电路板、陶瓷、LED、成型引线框架、
随着半导体产业的发展,生产效率逐步提高,设 高密度点阵引线框架等等。
备生产速度也越来越高。日前,国际最高水平的粘片
000 2
机粘片速度可达4只/s以上,UPH值达到15 高速粘片机芯片拾放机构
片/h,粘片精度小于38辟m。我们通过该项目的研
制,可以为半导体后封装各种器件的芯片键合提供 高速粘片机主要由上料机构、传输机构、点胶
实用设备,逐步实现关键设备的国产化。高速自动 机构、芯片台、芯片拾放机构、顶针机构、收料机构、
收稿日期:2006—08—00
作者简介:郭强生(1968.),男,甘肃静宁县人,高级工程师,现主要从事半导体设备研制工作。
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