线性电机在高速粘片机芯片拾放机构中的应用 application of linear motorpicking and placement mechanism in high-speed die bonder.pdfVIP

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线性电机在高速粘片机芯片拾放机构中的应用 application of linear motorpicking and placement mechanism in high-speed die bonder

电子工业毫用设备 ·封装技术与设备· 圈 线性 电机在高速粘片机芯片 拾放机构中的应用 郭强生 (中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京东燕郊101601) 摘要:论述了高速粘片机核心部件芯片拾放机构的工作原理以及美国SMAC线性电机的特性, 采用线性电机驱动芯片拾放机构,实现了对芯片的高速、高精度和柔性拾放技术。 关键词:高速粘片机;线性电机;柔性拾放 中图分类号:TM359.4 文献标识码:A ofLinearMotor: Application and MechaIlismin DieBonder Picking PlacemeHt High—speed GU0 Qiang-sheng 45mInstitute East (The ofCECT,BeijingYaIljiao101601,Chilla) Abstract:Theauthori11ustratesthe ofchip andP1acementMechanism workingprinciple Picking mo“lein Die the core characteristicsofAmericanSMAClinear (PPM)一the Bonder,and hi曲一speed the ofthelinearmotoron PPM,the motor.Byapplication chip techn0109y,chip’shi曲speed,high andsoR and achieVed. contrDl,is precision pickingplacement Die and contr01 Bonder;LinearMotor;Soft Keywords:High—speed pickingplacement 1 引言 DA、QFN、印制电路板、陶瓷、LED、成型引线框架、 随着半导体产业的发展,生产效率逐步提高,设 高密度点阵引线框架等等。 备生产速度也越来越高。日前,国际最高水平的粘片 000 2 机粘片速度可达4只/s以上,UPH值达到15 高速粘片机芯片拾放机构 片/h,粘片精度小于38辟m。我们通过该项目的研 制,可以为半导体后封装各种器件的芯片键合提供 高速粘片机主要由上料机构、传输机构、点胶 实用设备,逐步实现关键设备的国产化。高速自动 机构、芯片台、芯片拾放机构、顶针机构、收料机构、 收稿日期:2006—08—00 作者简介:郭强生(1968.),男,甘肃静宁县人,高级工程师,现主要从事半导体设备研制工作。

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