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应用于微型pcr芯片的微加热器特性研究 study on characterization of micro heater used for micro pcr chip
新翌半导访器件
StmieonduetorDevice
Novd
DOI：10．3969／j．issn．1003—353x．2012．06．007
应用于微型PCR芯片的微加热器特性研究
王俊强1，吴次南1，张普1，郭藏燃2，刘泽文2
(1．贵州大学理学院，贵阳550025；2．清华大学微电子学研究所，北京100084)
摘要：设计制作了一种应用于微型聚合酶链式反应(PCR)芯片的微加热器。然后按照
PCR循环温度的要求．利用该加热器进行了PCR温度实验。微加热器采用与MEMS工艺兼容的
溅射方法在Si基上制作，微加热器材料为金属PI。通过控制施加电压大小及时问，进行了变性
温度、退火温度和延伸温度实验。结果表明：在25V和32V电压控制下的温升速度分别为
O．68℃／s和1．23。C／s。在断电自然冷却下的降温速度均达到l℃／s。在一个PCR循环周期中每
mm×10
个反应仓的平均功耗为50mW，最大功耗80mW，整个10 mm芯片的最走功耗为
0，96
W。完成第一次PCR温度循环需要220S，之后的每次循环仅需要175S。
关键词：微型PCR芯片；微机电系统；微加热器；Pt薄膜；对流
中图分类号：TP273文献标识码：A，
onCharacterizationofMicroHeaterUsedforMicroPCR
Study Chip
Zewen2
WangJunqian91，WuCinan‘，ZhangPul，GuoCangran2，Liu
(1．hodo，Science，Cui=houUnitersity，CⅡiya噌550025，China；
2．hutitute
o，Mieroelectronic，TsinghuaUniversity，Beijing100084，China)
microheaterusedformicro was and
Abstract：A polyme础chainreaction(PCR)chipdesigned
fabricated．Thethermal were withthe microheater tothePCR
experimentsperformed obtained according
microheaterⅥ鹘fabricatedOnsiliconsubstratemicro·electro—
requirement．The
cyclingtemperature using
mechanical microheaterstructuralmaterialisPt．
sputteringtechnology．The
systems(MEMS)compatible
The on the tothe indifferentPCR denaturation，
experimentsheatingchip temperature stages，鞠ying，the
meansof control
and Wereconducted different
annealingextending
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