基于微波光电导衰退法的新型少子寿命测量仪张浩.pdfVIP

 应用技术 * 基于微波光电导衰退法的新型少子寿命测量仪 张浩 1,2 陈长缨 1,2 何璇 1,2 （1.广东省高等学校光电信息与传感技术重点实验室（暨南大学） 2.暨南大学光电工程系） 摘要：本文在传统微波光电导衰退法的基础上，提出了一种可用于测量半导体少数载流子寿命的新型少子 寿命测量仪。通过增加频移器和混频器，对高频微波探测信号进行调制和解调，得到包含了样品少子浓度信息的 低频信号。同时介绍了测量仪的基本原理和测量装置的结构，并分别对仪器内部的微波源、激光器、频移器和混 频器的原理和参数选择进行了探讨。实验表明：测量结果波形与理论预期波形相吻合，证实了测量仪的可行性； 新的测量仪保持了传统方法非接触、无损伤的优点，并降低了系统检测设备的性能要求，提高了测量信噪比。 关键词：微波光电导衰退法；少子寿命；频移器；混频器；半导体；硅片 1 引言 境噪声的影响，提高信噪比（SNR）；同时还降低了