设备工艺-真空及薄膜基础(PPT44页).pptVIP

氦质谱检漏仪 1 我们需要检漏的主要地方：各镀膜设备的真空系统，特气管路等 2 检漏方式很多，但工业普遍采用氦质谱检漏仪，其具有检漏范围广 （10-3～10-8 Pa·m3/S ）、性能稳定、精度高、安全方便等优点。 3 氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，利用氦气作为示踪气体，来对各种容器的泄漏、微漏和渗漏(包括材料本身的)进行检测的仪器。 使用氦气作为示踪气体的原因 1 氦气在空气中含量非常少，只有5ppm（空气中占约 1/200，000）； 2 在被测试的物体内部所残留的空气中的氦气含量也非常少； 3 由于氦分子量小、分子直径小（在元素周期表中在仅排在氢 的后面），即便是极其微小的渗漏孔也能方便地通过； 4 由于具有化学上的不活跃性，不会污染排气系统及被测试物 体，也不容易吸附在腔体表面上，容易放出。 5 由于具有对人体无害性和不可燃爆性，因此使用安全方便； 6 对分析管的分辨率要求并不高，容易实现高灵敏度； 7 不存在环境污染问题。 注：不用氢的原因：氢气本身就是易燃易爆气体。 氦质谱检漏仪的工作原理 灯丝发射出的电子在电离室来回震荡，与电离室内气体和经被检件漏孔进入电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下经缝隙进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏