第二章元件制作过程与样品封装-HMLT低温高磁实验室.doc

第一章 緒論 在這一個章節，首先對表面聲波（Surface Acoustic Wave，SAW）研究發展的歷史，然後對其應用做一個簡單的介紹。接著後面章節則是介紹表面聲波的原理，實驗相關的量子通道之研究，最後介紹與實驗相關的量子霍爾效應，還有的目的。 表面聲波的簡介 表面聲波（Surface Acoustic Wave，SAW）元件的研究在近幾年來廣泛的被應用，由於SAW元件的敏感度高，在晶體有擾動影響下，頻率的飄移都在幾百個kHz之間，以目前的量測儀器，可以精密偵測到1Hz的變化量。其優點還有體積小，操作容易，因而廣受應用，加上製程上容易和半導體技術整合，可以大量生產，大大的提升了SAW的實用性質。 [1] 而表面聲波的發展歷史，起因是在1885年英國物理學家Lord Rayleigh 在他的研究中發現的，他發表的文章中有提到，固體的波動中，除了 Shear waves 和longitudinal waves 之外，在具有彈性的晶體表面上有著一種波動，即為表面聲波。當時以其數學波動理論證實，所以表面聲波又稱做Rayleigh wave，如圖1-1.1所示，此種波在晶體表面行進時，最重要的就是能量能集中在表層，所以這獨特的性質，使得表面聲波元件可以很容易運用其所攜帶的能量。到了1965年，R. M. White 和 F. M. Voltmer 兩人在壓電材料的表面上做出了梳