硅微静电加速度计的支承刚度特性suspension-researchgate.pdfVIP

下载本文档

8
0
约3.05万字
约 6页
2017-08-17 发布于天津
举报
版权申诉

硅微静电加速度计的支承刚度特性suspension-researchgate.pdf

1、本文档共6页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

硅微静电加速度计的支承刚度特性suspension-researchgate

See discussions, stats, and author profiles for this publication at: /publication/289180938 Suspension stiffness of micromachined electrostatically suspended accelerometers Article in Zhongguo uanxing Jishu Xuebao/Journal of Chinese Inertial Technology · February 2014 DOI: 10.13695/ki.12-1222/o3.2014.01.020 CITATIONS READS 0 19 5 authors, including: Feng Tian Han . Y. Ma Tsinghua University Shanghai Jiao Tong University 44 PUBLICATIONS 228 CITATIONS 19 PUBLICATIONS 05 CITATIONS SEE PROFILE SEE PROFILE Some of the authors of this publication are also working on these related projects: Micromachined electrostatically suspended gyroscope View project Electrostatic accelerometer for space test of Equivalence Principle View project All content following this page was uploaded by Feng Tian Han on 19 May 2016. The user has requested enhancement of the downloaded file. 第 22 卷第 1 期中国惯性技术学报 Vol.22 No.1 2014 年2 月 Journal of Chinese Inertial Technology Feb. 2014 文章编号：1005-6734(2014)01-0100-04 doi: 10.13695/ki.12-1222/o3.2014.01.020 硅微静电加速度计的支承刚度特性 1 1 1 1 2 韩丰田，吴秋平，孙搏谦，张汉蒸，马高印（1. 清华大学精密仪器系，北京 100084 ；2. 北京航天控制仪器研究所，北京 100039 ）摘要：静电加速度计通过降低带宽和量程在空间微重力环境下可以实现极高的分辨率。设计了一种采用玻璃-硅-玻璃“三明治”结构、平行六面体状检验质量、体硅加工工艺的三轴硅微静电加速度计，推导并讨论了静电支承回路