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§ 第1部分 真空的初步知识 1.1基本概念 1．??? 2．??? Pa） 1Pa就是1m2面积上作用1N的压力。 1大气压=1.03×105Pa 3．??? Pa） 4．??? Pa/h 5．??? ①??? 旋片泵：单级 多级 ②??? 罗茨泵： ??????????????????????????????????????????? ③??? 扩散泵： ??????????????????????????????? ④??? 挡板阀 ????????????????????????????????????????????? ⑤??? 阀门（不指明类型） 6．??? L/S） 当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩上指定位置测得的平衡压力之比。 7．??? Pa） 在规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向平稳的最低压强。 8．??? 旋片泵表示名称：X，双级旋片泵表示名称：2X， 罗茨泵表示名称：ZJ，P表示它的排气口位置是旁开。（厂家的一种表示，不带有普遍性。） 以下两种泵后面有的数字是它的抽速。 2X-70，ZJ-600 扩散泵的表示名称：K，T表示凸腔泵，其后面的数字表示为它的进气口的几何尺寸。 KT-600，KT-400 1.2 设备的介绍 1.2.1 30kg、100kg、120kg三种设备的介绍 以100kg为例重点介绍： 整套设备由控制系统（电控系统）、炉壳、加热系统、真空系统、水冷系统、充放气系统、气动系统、风冷换热系统、进出料系统等九个系统组成，以下分别介绍： 1．?? 2．?? 炉体：是由筒体及各个法兰接管组成，炉体是双层水冷夹套结构，中间是冷却循环水。炉体上带有电极接口、真空系统接口、热偶座接口、风冷换热接口、热偶接口、充放气接口、水冷接口等组成。炉门上带有观察窗，可以观察工作情况。 3．?? 4．?? 5．?? 见图1: 6．?? 7．?? 8．?? 9．?? 120kg真空系统是由KT-600扩散泵+ZJP-600罗茨泵+2X-70旋片泵（2台）及管路、阀门组成。见图2 1.2.2 三种常见泵介绍 （1）??? 2X-70旋片泵 旋片泵（图3） 1—泵体；2—转子；3—旋片；4—端盖；5—弹簧 ①?? 工作原理：2-X70旋片泵是一种油封式机械真空泵。其工作压强范围为大气到6.7×10-2（Pa）属于低真空泵。旋片泵分单级和双级两种。所谓双级，就是在结构上将两个单级泵串联起来。以获得较高的真空度。旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等零件组成。在旋片泵的泵腔内偏心地安一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切（二者有很小的间隙），转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分，见图3。当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间A的容积是逐渐增大的（压力降低），正处于吸气过程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的（压力升高），正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的（压力升高），正处于压缩过程。由于空间A的容积逐渐增大（即膨胀），气体压强降低，泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强，因此将气体吸入。当空间A与吸气口隔绝时，即转至空间B的位置，气体开始被压缩，容积逐渐缩小，最后与排气口相通。当被压缩气体超过排气压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中。如果排出的气体通过气道而转入另一级（低真空级），由低真空级抽走，再经低真空级压缩后排至大气中，就组成了双级泵，见图4。 双级泵（图4） I—高真空泵；II—低真空泵；1—中间辅助排气阀；2—通道；3—低真空级排气阀 ②??? 旋片泵的主要参数及其影响的原理 极限真空：泵装有标准试验罩，并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压强。 泵油对机械泵的极限真空也是有一定影响的。见图5 DE：理想泵油，油量与极限压强（真空度）之间关系 FG：实际使用的吸收大量空气和水分的泵油，油量越多，放气量越大，极限压强越高 P0：油的饱和蒸气压（在给定温度下，某种物质的蒸气与其凝聚相处于平衡状态下的该种物质的蒸气压力） PB：极限压强最低值（极限压强越低，