环形ZnO薄膜谐振器的横模抑制与测试分析李玉金元秀华赵-物理学报.PDFVIP

环形ZnO 薄膜谐振器的横模抑制与测试分析 李玉金 元秀华 赵茗 王运河 LateralmodesuppressionandexperimentfortheZnOring thin-film bulk acousticresonator LiYu-Jin YuanXiu-Hua ZhaoMing WangYun-He 引用信息Citation: ActaPhysicaSinica, ,224601(2015) DOI: 10.7498/aps.64.224601 在线阅读Viewonline: /10.7498/aps.64.224601 当期内容Viewtableofcontents: /CN/Y2015/V64/I22 您可能感兴趣的其他文章 Articlesyoumaybeinterestedin 光梯度力驱动纳谐振器的非线性动力学特性研究 Nonlineardynamicanalysisofnano-resonatordrivenby optical gradient force 物理学报.2014,63(2): 026201 /10.7498/aps.63.026201 ZnO/Diamond/Si 结构中声表面波传播特性分析 SimulationofcharacteristicsofZnO/diamond/Sistructuresurface acoustic wave 物理学报.2013,62(10): 104601 /10.7498/aps.62.104601 Ti-B-C-N纳米复合薄膜结构及力学性能研究 MicrostructureandmechanicalpropertiesofTi-B-C-Nnanocomposite coatings 物理学报.2011,60(8): 086802 /10.7498/aps.60.086802 辉光放电聚合物结构及力学性质研究 Structureandmechanicalpropertyofglowdischargepolymer 物理学报.2011,60(8): 086803 /10.7498/aps.60.086803 物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 64, No. 22 (2015) 224601 环形ZnO薄膜谐振器的横模抑制与测试分析 李玉金 元秀华 赵茗 王运河 (华中科技大学光学与电子信息学院, 武汉 430074) ( 2015 年4 月2 日收到; 2015 年7 月7 日收到修改稿) 采用Tiersten 方程研究了环形ZnO 薄膜谐振器中横模寄生问题, 获得了环(圆) 形薄膜谐振器的横模振 动方程, 求得横模位移场解和频率色散方程; 然后采用电磁学模式合成理论进行分析, 发现环形薄膜谐振器横 模频率与环形电极的内外径之比 有关, 振动模式可由圆形薄膜谐振器横模模式合成得到, 通过控制 能 够抑制横模模式数和调控基膜频率. 采用外差激光干涉仪和网络矢量分析仪测量并比较了同批次的圆形和环 形薄膜谐振器的上电极横模振动图样和电阻抗曲线. 振动图样显示环形薄膜谐振器振动模式可由半径为 和 半径为 的圆形薄膜谐振器振动模式合成, 仅存在节圆数大于0 的横模振动, 等于0 的横模模式被抑制; 电阻 抗曲线显示当 为0.436 时, 环形薄膜谐振器的基频(约1217 MHz) 和圆形的(0, 1) 模式频率相等. 测量数 据验证了模式合成理论的分析结果正确性, 为薄膜谐振器的横模抑制研究提供了理论基础和新方法. 关键词: 薄膜谐振器, 横模, 模式合成, ZnO PACS: 46.40.–f, 68.60.Bs, 62.25.Jk, 43.35.Mr DOI: 10.7498/aps.64.224601 的横模在电阻抗曲线上的反映是一些毛刺现象, 它 1 引 言 会影响FBAR 的频率特性, 容易出现纵模振动性能