原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
N掺杂MgZnO薄膜的p型导电稳定性研究
第 卷 第 期 液晶与显示
３０ ６
Vol．３０ No．６
ChineseJournalofLiuidCrstalsandDislas
年 月 q y p y
２０１５ １２ Dec．２０１５
文章编号: ( )
１００７Ｇ２７８０２０１５０６Ｇ０９２５Ｇ０５
N掺杂M ZnO薄膜的 型导电稳定性研究
g p
∗
, , ,
高丽丽 李淞菲 曹天福 张 雪
( , )
北华大学 物理学院 吉林 吉林 １３２０１３
: , , ,
摘要 利用磁控溅射技术 以 为陶瓷靶材 制备了 掺杂 型 薄膜 薄膜的电阻率为
M Zn O N M Zn O ４２．４５
g p g
０．０６ ０．９４ ０．１３ ０．８７
１７ ３ ２ －１ －１
, / , .
Ω cm 载流子浓度为３．７０×１０ cm 迁移率为０．４０cm V s 研究了该薄膜 型导电性质在室温空气下随时
p
. , , , , ,
间的变化情况 实验结果表明 薄膜的电阻率逐渐升高 载流子浓度降低 五个月以后 薄膜转变为 型导电 电阻率为
n
１６ ３ ２ －１ －１
, / , . .
８５．５８Ω cm 载流子浓度为 ４．５３×１０ cm 迁移率为 １．６１cm V s 真空热退火后重新转变为 型 结果显
p
, .
示 其 型导电类型的转变与在空气中吸附 或 等形成浅施主有关
p H O H
２ ２
: ;
文档评论（0）