蓝绿光半导体光电子器件的研究与发展现状.pdf

第 21 卷增刊 半 　导 　体 　光 　电 Vol. 21 Supplement 2000 年 3 月 Semiconductor Optoelectronics March 2000 ( ) 文章编号 :1001 - 5868 2000 01S - 0001 - 04 蓝绿光半导体光电子器件的研究与发展现状 赵　红 ,何伟全 (重庆光电技术研究所 ,重庆 400060) 摘　要 : 　综述了 GaN 和 ZnSe 两大系列半导体光电子器件的研究与发展现状 ,重点讨论了材 料的生长方法 ,给出了器件发展的最高水平。 关键词 : 　发光器件 ; 平板显示器 ; 光存贮 ; GaN ; ZnSe 中图分类号: 　TN525 ; TN491 　　　文献标识码 : 　A An Overview on the Research and Development of Semiconductor Blue - green Optoelectronic Devices ZHAO Hong ,HE Weiquan ( Chongqing Optoelectronics Research Institute ,Chongqing 400060 ,China) Abstract : 　This paper reviews the present stage for the research and development of blue - green optoelectronic devices based on ZnSe and GaN ,with emphasis on the growth processes of the materials. The best performances achieved in the devices up to date are presented. Keywords : 　light emitting devices ; plate display ; optic storage ; GaN ; ZnSe 1 　引言 件。SiC 材料是间接带隙半导体 ,且发光颜色不够 纯正 ,不太适合制作光电子器件。目前 ,利用 ZnSe 蓝、绿光与红光构成了颜色的三原色。目前 ,半 系列和 GaN 系列材料的蓝绿光电子器件的研究与 导体红光器件的制作技术已经比较成熟 ,而蓝绿光 开发已经取得了突破性进展。 器件的发展相对滞后。但实际的需求推动着半导体 蓝绿光电子器件的发展。蓝、绿光 L ED 与红光 3 　ZnSe 系列光电子器件 L ED 一起 ,可以用于新一代全彩色平板显示器的开 发 ;蓝光激光器除用于光学数据存贮系统 ,还可用于 3. 1 　材料的外延生长 新一代的生物医学工程技术 ,水下通信等[1 ,2 ] 。 ZnSe 由于缺乏体单晶,只有选择晶格常数与之 匹配的其他晶体材料作为其外延衬底。GaAs 与 2 　蓝绿光电子器件实用化的技术路线 ZnSe 的晶格失配只有 0. 27 % ,所以容易在 GaAs 衬 底上生长出高质量的单晶。目前 , 大多