MEMS设计仿真软件的综合比较.doc

《MEMS 器件、仿真与系统集成》期中测验（三） （占考试成绩的20%，中英文答题均可，5月30日交电子版。任课教师：陈剑鸣） 研究生： （签字） 学 号： MEMS设计、仿真软件的综合比较。（占本课程的20%）。 具体要求： 用表格形式对MEMS常用的软件进行比较。比较的软件四大类：TannerPro（主要是L-edit），HFSS, CoventorWare，IntelliSense，ANSYS 比较的内容： 公司、厂家； 软件的总体描述； 软件的模块关系（模块组成）； 按模块来阐述的主要用途； 按模块来阐述的性能参数； 软件所做的实例图（分模块）。 你对此软件（或者是具体模块）的看法和评价，不少于5个模块。 作业作答如下： 一. TannerPro（主要是L-edit） 1.1 公司、厂家： Tanner Research公司 1.2 软件的总体描述 Tanner集成电路设计软件是由Tanner Research 公司开发的基于Windows平台的用于集成电路设计的工具软件。该软件功能十分强大，易学易用，包括S-Edit，T-Spice，W-Edit，L-Edit与LVS，从电路设计、分析模拟到电路布局一应俱全。其中的L-Edit版图编辑器在国内应用广泛，具有很高知名度。　　L-Edit Pro是Tanner EDA软件公司所出品的一个IC设计和验证的高性能软件系统模块，具有高效率，交互式等特点，强大而且完善的功能包括从IC设计到输出，以及最后的加工服务，完全可以媲美百万美元级的IC设计软件。L-Edit Pro包含IC设计编辑器(Layout Editor)、自动布线系统(Standard Cell Place Route)、线上设计规则检查器（DRC）、组件特性提取器（Device Extractor）、设计布局与电路netlist的比较器(LVS)、CMOS Library、Marco Library，这些模块组成了一个完整的IC设计与验证解决方案。L-Edit Pro丰富完善的功能为每个IC设计者和生产商提供了快速、易用、精确的设计系统。 Tanner Tools Pro是一套集成电路设计软件，包含以下几种工具： S-Edit (编辑电路图) T-Spice（电路分析与模拟） W-Edit （显示T-Spice模拟结果） L-Edit （编辑布局图，自动布局布线，DRC，电路转化） LVS （版图和电路图对比） 1.3 软件的模块关系 Tanner数字ASIC设计流程图： 1.4各模块的的描述以及实例图 1.4.1 S-Edit以及范例 S-Edit 13.0界面 S-Edit范例 1.4.2 T-Spice T-Spice是电路仿真与分析的工具，文件内容除了有元件与节点描述外，还必须加上其他的设定。有包含文件、端点电压源设置、分析设定、输出设置。 1.4.3 LVS LVS是用来用来比较布局图与电路图所描述的电路是否相同的工具。也就是说比较S-Edit绘制的电路图与L-Edit绘制的布局图是否一致。需要spc文件和sp文件。 1.5 L-Edit的使用 1.5.1 L-Edit画图布局详细步骤 打开L-Edit程序，保存新文件。 取代设定（File-Rep lace Setup）。 环境设定（Setup-Design）。 选取图层。 选择绘图形状绘制布局图。 设计规则设定（MOSIS/OPBIT 2.OU）和设计规则检查（DRC）。 检查错误，修改（移动）对象。 再次进行设计规则检查。 1.5.2 使用L-Edit画PMOS布局图 1).用到和图层包括N Well,Active, N Select, P Select, Poly, Metal1,Metal2,Active Contact,Via. 2).绘制N Well图层：L-Edit编辑环境是预设在P型基板上，不需定义P型基板范围，要制作PMOS，首先要作出N Well区域。根据设计规则Well区电最小宽度的要求（10），可画出N Well区。 3）.绘制Active图层：定义MOS管的范围。PMOS的Active图层要绘制在N Well图层之内。根据设计规则要求，Active的最小宽度为3。可在N Well中画出Active图层。 4）.绘制P Select图层：定义要布置P型杂质的范围。绘制前进行DRC可发现相应错误。绘制时注意遵守4.2b规则：Not Selected Active)。绘制时注意遵守4.2b规则：Active to P-Select Edge最小2。同时还要注意pdiff层与N Well层要遵守2.3a(5)。 5）.绘制Poly图层：