TiNSiC纳米多层膜的生长结构与力学性能.PDF

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 =% 7 $$’ 7 ， ， ， MS@ 5=% ,S 57 T38G $$’ （ ） !$$$1%($-$$’-=% $7 - !(7!1$7 K/*K ;PQ.R/K .R,R/K !$$’ /U+8 5 ;UBD 5 .S2 5 !#$ % 纳米多层膜的生长结构与力学性能! ） ） ） ） ! ! ! # 劳技军 孔 明 张惠娟 李戈扬 !）（上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室，上海 $$$%$ ） ）（上海交通大学高温材料与高温测试教育部重点实验室，上海 $$$%$ ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $$% ’ $$% ( !) 研究了 纳米多层膜中立方 （ ）的形成及其对 多层膜力学性能的影响 结果表明： *+,- .+/ .+/ 0!1234+2 .+/ *+,- .+/ 5 在 多层膜中，非晶态的 层在厚度小于 时形成立方结构并与 形成共格外延生长的超晶格柱状 *+,- .+/ .+/ $ 6789 *+, 晶，使多层膜产生硬度和弹性模量显著升高的超硬效应，最高硬度超过7$:; 5 .+/ 随着层厚的增加转变为非晶相， 从而阻止了多层膜的共格外延生长，使薄膜呈现 纳米晶和 非晶组成的层状结构特征，同时多层膜的硬度和 *+, .+/ 弹性模量下降 纳米多层膜产生的超硬效应与立方 的形成及多层膜共格生长有关 5 *+,- .+/ .+/ 5 关键词：立方碳化硅， 纳米多层膜，外延生长，超硬效应 *+,- .+/ ： ， ， ’( 7)7$ 7)== 7’7$ 下需%:; 以上的高压才能形成亚稳的面心立方结 ［ ］ !( !6 引 言 构 ，即使在 !)$$L 的高温下，这一转变也需要