单轴微拉伸犕犈犕犁材料力学性能测试的系统集成.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １８ ５ 　 Ｖｏｌ．１８ Ｎｏ．５ 　 　 　　 　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１０ ５ Ｍａ ２０１０ 　 　 　 ｙ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１００５１２０４０８ 　 单轴微拉伸犕犈犕犛材料力学性能测试的系统集成 汪 红，汤 俊，刘 瑞，陈 晖，丁桂甫 　 　 　 　 （上海交通大学 微纳科学技术研究院 薄膜与微细加工技术教育部重点实验室 微米／纳米加工国家重点实验室，上海 ２００２４０） 摘要：为了对微米尺度薄膜材料的力学性能进行测试，开发了一套成本较低的单轴微拉伸 ＭＥＭＳ材料力学性能测试系 统。首先，根据有限元模拟优化设计测试样片，使其能够易于夹持、准确对中，以利于应力和应变的测量。接着采用三维 非硅 微加工技术制备了 薄膜样片。根据单轴拉伸测试过程和硬件构成，以 为平台编译了一 ＵＶＬＩＧＡ Ｎｉ ＶｉｓｕａｌＢａｓｉｃ 套数据采集与分析系统。最后，应用该测试系统完成对电镀 薄膜材料性能的测试。实验结果表明，该系统能够精确 Ｎｉ 测试试样应变，精度达到 ，拉伸力精度达到 级。得到的电镀 薄膜材料的杨氏模量约为 ，抗拉强 ０．０１ ｍ ｍＮ Ｎｉ ９４．５ＧＰａ μ 度约为 １．７６ＧＰａ。该系统基本满足微米尺度材料单轴微拉伸力学性能测试的需要。 关 键 词：材料力学测试；微机电系统；单轴微拉伸；有限元模拟； ；杨氏模量；镍 ＵＶＬＩＧＡ 　 　 中图分类号： 文献标识码： ： ／ ＴＢ３０２．３ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ１２０４ 　　 　　 犐狀狋犲狉犪狋犲犱狌狀犻犪狓犻犪犾狋犲狀狊犻犾犲狋犲狊狋狊狊狋犲犿犳狅狉犿犲犪狊狌狉犻狀 犿犲犮犺犪狀犻犮犪犾 犵 狔 犵 狉狅犲狉狋犻犲狊狅犳犕犈犕犛犿犪狋犲狉犻犪犾狊 狆 狆 ， ， ， ， ＷＡＮＧＨｏｎ ＴＡＮＧＪｕｎ ＬＩＵＲｕｉＣＨＥＮＨ