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《铁机》chapter8固态传感器-湿敏090808
检测技术
Chapter 8
Chapter 8
CChhaapptteerr 88
固态传感器
8.5 湿度传感器
8.5 湿度传感器 固态传感器
8.5
88..55
湿度检测的意义
� 在工业生产中，湿度测控关系到产品的质量。精密仪器、
半导体集成电路与元器件制造场所，湿度的测控就显得更
加重要。
� 湿度测控在气象预报、医疗卫生、食品加工、家用电器、
农林牧等行业都有广泛的应用。
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8.5 湿度传感器 固态传感器
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� 湿度是指大气中的水蒸气含量，通常采用绝对湿度和相对
湿度两种表示方法。
� 绝对湿度是指在一定温度和压力条件下， 每单位体积的混
合气体中所含水蒸气的质量，单位为g/m3，一般用符号AH
表示。
� 相对湿度是指气体的绝对湿度与同一温度下达到饱和状态
的绝对湿度之比，一般用符号%RH表示。相对湿度给出大
气的潮湿程度，它是一个无量纲的量，在实际使用中多使
用相对湿度这一概念。
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8.5 湿度传感器 固态传感器
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� 湿敏传感器是能够感受外界湿度变化，并通过器件材料的
物理或化学性质变化，将湿度转化成有用信号的器件。
� 湿度检测较之其它物理量的检测困难的原因：
� 因为空气中水蒸气含量要比空气少得多；
� 液态水会使一些高分子材料和电解质材料溶解，一部分
水分子电离后与溶入水中的空气中的杂质结合成酸或碱
，使湿敏材料不同程度地受到腐蚀和老化，从而丧失其
原有的性质；
� 湿信息的传递必须靠水对湿敏器件直接接触来完成，因
此湿敏器件只能直接暴露于待测环境中，不能密封。
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对湿敏器件的要求：
� 在各种气体环境下稳定性好，寿命长；
� 满足要求的湿度测量范围，有较快的响应速度；
� 在各种气体环境中特性稳定，不受尘埃、油污附着影响；
� 能在－30～100℃的环境温度下使用，受温度影响小；
� 互换性好、制造简单、价格便宜；
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