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2017-08-21 发布于上海
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aao模板的湿法刻蚀研究 study of wet etching of aao template

技术专栏 Colmnn Technology doi：10．3969／j．issn．1003·353x．2010．06．004 AAO模板的湿法刻蚀研究胡国锋，张海明，邸文文，李育洁，高波，朱彦君 (天津X-业大学理学院，天津300160) 摘要：利用二次阳极氧化法制备多孔氧化铝(AAO)模板，然后用NaOH、磷铬酸和不同质量分数的H，P04等溶液，对AAO模板进行湿法刻蚀。研究了刻蚀时间与从0模板质量减少之间的变化关系。结果表明，质量分数为3％的H3P04溶液是最为温和的刻蚀剂，它在刻蚀过程中 AAO模板的质量减少跟刻蚀时间呈较好的线性关系。SEM测试表明，刻蚀后的AAO模板表面存在大量的氧化铝纳米线，它们是在刻蚀的过程中产生的，并影响着刻蚀速率。通过调节刻蚀时间，可实现对从O模板的精确可控刻蚀，这对制备纳米器件具有重要意义。关键词：多孔氧化铝；湿法刻蚀；磷酸；氧化铝纳米线中图分类号：TN305．7文献标识码：A 文章编号：1003．353X(2010)06．0531．03 ofWet ofAAO Study Etching Template Hu Wenwen，Li Bo，Zhu Guofeng，ZhangHaiming，Di Yujie，Gao Yanjun (Schoolofience，托吨枷PolytechnicUniversity，Ti嘶in300160，China) Abstract：TheoIderedanodiealuminum was with highly oxide(AAO)templatepreparedtwo—step anodization．TheAAO wascarriedout wet amixturesolutionofNaOH， template by etchingprocessusing betweennlassloss and and ofAAO and timeWas H3P04H2Cr04H3P04．Therelationship template etching studied．Theresultsindicatethat isamoremildandeffectiveetchant 3％(删fraction)H3P04 compared withtheseetehants．andthenmsloss linear with time．SEM shows appearsrelationshipetching investigations thataluminananowiresareobtainedwith AAO the ofalumina hi【ghyieldbyetchingtemplate．Andgrowth nanowiresis relatedtothe time．Itisof inthefabricationoft