afm非线性测量的影响因素分析 influencing factors on afm nonlinearity characterization.pdfVIP

第28卷第2期 电 子显微学报 vt)l-28．No．2 of Electron 2009．04 2009年4月 JournalChinese MicroscopySociety 文章编号：1000．6281(2009)02．0131—04 AFM非线性测量的影响因素分析 李家文，李 佳，陈宇航，黄文浩。 (中国科学技术大学精密机械与精密仪器系，安徽合肥230027) 摘 要：原子力显微镜(AFM)已经广泛应用于纳米科技领域。为获得准确的测量结果，对AFM非线性进行测量和 校正是非常必要的。AFM非线性的测量方法有电容测微仪法、激光干涉法和扫描图像相关分析法等，其中图像相 关分析法具有原住和简单等优点。本文应用图像相关方法，对不同漂移速率舜口扫描面积情况下的非线性测量结果 进行实验对比分析。结果表明，漂移速率和扫描面积是影响图像相关法测量AFM非线性准确性的重要因素。 关键词：原子力显微镜；非线性；数字图像相关法 中图分类号：TH742．9文献标识码：A 原子力显微镜(AFM)是纳米科技中的重要工具，和G的灰度值，(菇，，，)和(石7，y’)分别是图像，和 之一¨o。由于压电陶瓷固有特性，作为AFM关键部G中两块待匹配区域的左上角坐标，(s，t)是两个匹 件的扫描器实际位移与施加电压之问存在着非线性 配块之问的相对位置，则匹配块之间的标准相关函 关系，引起的测量误差通常为5％一10％口’。为获 数C(s，t)可由下式给出： 得准确的空间三维图像，对AFM进行非线性测量和 ∑f(x，y)g(-’，，，7) 校正是非常必要的。 AFM非线性的测量方法有电容测微仪法b1、激 √善[，h∥)]2√善[gh’∥)]2 光干涉法n’5】、标准样块校准法№】、扫描图像相关分 (1) 析法【71等。用电容测微仪法或激光干涉法测量可实 将第二幅图像中搜索子块沿图像坐标平移s和 现在线测量和补偿，但是装置复杂，并且成本较高。 t，计算相应的相关系数，进而构成空间相关面。若 标准样块校准法是通过比较周期性标准样块测量图 两幅图像之间有位移，那么就可以用相关面中相关 像和标准图像，进而得到非线性，此方法对标准样块 系数的峰值坐标表示图像位移的方向和大小，计算 制作精度要求很高。数字图像相关法是运用图像相 每一个待匹配块的位移可构成整个图像的位移分 关原理比较一系列不同偏置下扫描图像来测量 布。 AFM的非线性，其最大优点是能对普通样品进行在 本文采用待匹配块的左上角坐标处的位移来表 线测量，无需额外的装置和校准样品。由于数字图 征子块的位移，吼和q分别表示图像位移场(菇，)，) 像相关法是通过分析图像畸变来求出非线性，而 处茹方向和y方向的位移。假定扫描图像为P×P AFM扫描图像畸变不仅有扫描器非线性因素，还包 个像素，面积为dpm×dpm，图la是AFM偏置 含仪器漂移因素。当仪器漂移是产生图像畸变的主 要原因时，漂移因素必将对非线性测量结果产生较 脚时图像示意。图1a的右半部和和图1b的左半 大影响。 部表示样品的同一个区域，区域的长为(d一艿。)