afm扫描参数对表面粗糙度测量的影响分析 study on the scanning parameters affecting surface roughness measurements by afm.pdfVIP

第26卷第1期 电子显微学报 Vol一26．No．1 2007年2月 ofCmmseEl∞t∞n 2007．02 Jour腑l Micr惦∞pysocie锣 文章编号：1000．6281(2007)01．0032．04 AFM扫描参数对表面粗糙度测量的影响分析 李家文，陈宇航，黄文浩 (中国科学技术大学精密机械与精密仪器系，安徽合肥230027) 摘 要：原子力显微镜(AFM)是纳米科技研究中一个重要工具。影响AFM测量图像质量的因素很多，本文从AFM 扫描参数选择的角度，研究扫描参数对样品表面均方根粗糙度的影响。实验和理论分析表明，扫描速度、反馈控制 参数中的比例常数P和积分常数，的选择均对样品的表面粗糙度测量及评定产生影响。 关键词：原子力显微镜；扫描参数；表面粗糙度 中图分类号：TH742．9文献标识码：A 原子力显微镜(AFM)因具有纳米甚至原子量级20℃一25℃，空气环境相对湿度为20％～30％。 的超高分辨率和柔性的测量环境，已成为纳米科技 AFM在接触模式下测量，主要有四个参数可供 研究中一个重要工具，在表面科学、纳米计量和生物 调整，即参考电压(set 科学等领域得到广泛应用，充分理解影响AFM测量 常数(P)和积分常数(，)。 性能的因素对获得样品的真实数据非常重要¨。。 为了解某一扫描参数对扫描图像的影响，保持 其它参数不变，只改变此参数得到样品同一区域的 影响AFM测量性能的因素很多，主要有：(1)针 尖的几何参数。当针尖在样品表面扫描时，由于针 系列扫描图像，对图像进行分析，得到Rq与此扫描 尖尺寸对样品表面的耦合作用，扫描得出的图像有 参数之间的关系。 畸变。为减少针尖半径对扫描图像的影响，必须对 由于温度等因素影响，在做一系列实验前，首先 图像进行重建心3。(2)针尖和样品的机械性能。由要考虑样品漂移对尺q的影响。图1是在setpoint 于扫描时针尖施加作用力到样品表面，使样品表面 =0．1 产生变形，从而影响图像¨o。(3)压电陶瓷的非线 区域上连续扫描得到11幅图像，由此得到图像Rq 与时间关系。由图可见，在整个测量过程中，尺q的 性、迟滞、蠕变和交叉耦合等，需对扫描驱动器进行 相对偏差小于3％，说明在本实验条件下，图像间漂 标定，进行微位移补偿Ho。(4)图像的漂移，可通过 移对粗糙度评价的影响非常小。在以下的实验中， 振动的隔离、环境温度的控制，采用自相关方法分析 图像漂移的因素可以不加考虑。 连续扫描的图像来确定漂移方向和速率，通过反馈 200 控制则能减小漂移的影响¨’61。 180 160 为得到比较理想的图像，AFM扫描时缺省设置 140 了许多控制参数。这些参数对扫描图像究竟有何影 120 l 1∞ 响，很少有人去研究。本文主要研究图像扫描的几 量80