任意槽形光栅衍射特性的矢量理论分析与计算.PDFVIP

第8 卷　第 1 期　 光学　精密工程 Vol. 8, No. 1 2 0 0 0 年 2 月 O P T IC S AN D PR EC IS ION EN G IN EER IN G F eb. , 2000 文章编号　1004924X (2000) 0 1000506 任意槽形光栅衍射特性的矢量理论分析与计算 樊叔维 ( 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室, 吉林 长春　13002 1) 摘要: 根据麦克斯韦基本方程组, 推导了描述任意槽形光栅衍射特性的矢量理论分析方法——严格的耦 合波方法, 该方法可用来分析具有任意面型函数光栅在 T E , TM 两种偏振模式的平面波入射下的光栅 衍射特性。文中讨论了偏振状态及光栅结构参数对几种典型槽形光栅衍射场的影响。 关　键　词: 衍射; 介质光栅; 耦合波理论 中图分类号: O 439　　文献标识码: A 分为许多薄层, 所分层数应足够近似光栅实际的 1　引　　言 面型函数; 2) 每个光栅薄层内的电磁场通过严格 的耦合波方法确定; 3) 在不同区域边界面上及光 　　介质表面浮雕光栅在量子电子学, 集成光学, 栅薄层之间运用电磁场边界匹配条件, 通过一定 以及全息摄影技术等领域的广泛应用[ 1- 2 ] , 引起 的数学方法求得各级衍射波的振幅及衍射效率。 了研究人员对其衍射特性研究的极大兴趣。在研 在处理光栅各薄层之间电磁场量相互匹配的条件 究任意面型函数的光栅衍射的实际问题中, 最先 时, 会导致数值不稳定问题, 本文介绍的严格的耦 提出了积分方法[3- 4 ] , 但 由于积分方法数学模型 合波方法, 对透射矩阵进行了一定的数学处理, 避 极其复杂, 算法不宜实现, 且受到当时计算机内存 免了计算过程中出现数值不稳定问题。 及速度的限制, 使该方法的推广应用受到限制。于 是研究人员提出了数学模型简单, 便于计算的微 分方法[ 1 ] [ 5 ] , 并得到了广泛的应用[ 6- 7 ] 。微分法在 进行数值处理时, 需要非常精确, 稳定的算法, 这 些算法使程序变得复杂, 而且有些算法在计算较 大深度的光栅衍射特性时, 会出现不收敛的现象。 耦合波方法是 80 年代提出的一种严格的矢量理 论分析方法[ 8- 11 ] , 它将光栅区域内的电磁场作空 间谐波展开, 通过不同区域边界的电磁场边界匹 F ig. 1 　 Geom et ry fo r th e b in ary p h a se grat ing 配条件得到一组无限维耦合微分方程组, 采用一 d iffract ion p rob lem 定的数学方法求得光栅 电磁场衍射 问题的精确 本文分析的任意面型函数浮雕光栅的衍射问 解。它已被广泛应用于光栅结构的分析与设计中。 题如图 1 所示。一平面波以入射角 入射, 则光栅 将产生各级反射波及透射波, 如图 1 所示。反射区 域及透射区域的介电常数分别为 , , 光栅区域 2　理论分析 1 2 包含了两种介质的周期分布, 其介电常数为一周 　　求解光栅衍射场的矢量理论的一般方法就是 期函数, 故可将介 电常