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第卷第期半导体学报年月半导体器件建模与优化系统谢晓锋鲁勇李钊阮骏姚依张文俊杨之廉清华大学微电子学研究所北京摘要随着器件尺寸的缩小器件特性空间变得越来越复杂如果仍采用手工参数调整的方法不仅需要有较好的器件物理知识而且也不一定能得到合适的结果为节约设计时间对半导体器件建模与优化系统进行了研究与实现该系统可以对半导体器件进行有效地建模优化和综合以得到所需要的器件通过一些实例对部分功能进行了说明并和一些已有的系统进行了比较关键词响应表面方法实验设计遗传算法微粒群优化中图分类号文献标识码文章编号是其中的一
第 卷第 期 半 导 体 学 报
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半导体器件建模与优化系统
谢晓锋 鲁 勇 李 钊 阮 骏 姚 依 张文俊 杨之廉
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