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纳米材料与结构碳纳米管非对称接触结构制作及电学性能研究胡林陈长鑫张亚非上海交通大学微纳科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室薄膜和微细技术教育部重点实验室上海摘要实验研究了多根或单根单壁碳纳米管与非对称金属电极接触结构的制作方法先用介电泳方法将碳纳米管定向排列在电极对之间再用电子束光刻在碳纳米管的一端加工电极获得多根碳纳米管与金铝电极的非对称接触结构先用在电极对一端覆盖电极再用排列碳纳米管实现单根碳管与金铝电极的非对称接触结构非对称结构器件的电学测试研究表明器件的曲线不再对称呈现出整流特
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