2009第十章 透射电子显微镜.pptVIP

1.电子枪 1）斑点花样：平行入射束与单晶作用产生斑点状花样；主要用于确定第二象、孪晶、有序化、调幅结构、取向关系、成象衍射条件；2）菊池线花样：平行入射束经单晶非弹性散射失去很少能量，随之又遭到弹性散射而产生线状花样；主要用于衬度分析、结构分析、相变分析以及晶体的精确取向、布拉格位置偏移矢量、电子波长的测定等； 3）会聚束花样：会聚束与单晶作用产生盘、线状花样；可以用来确定晶体试样的厚度、强度分布、取向、点群、空间群以及晶体缺陷等。 * 第十章 透射电子显微镜 本章要点: 1.电子光学显微镜的分类，4类电子光学显微镜的特点 2.透射电镜主要结构、其电子光学系统的组成 3.透射电镜的聚光镜、物镜和投影镜的特点和作用★ 4.透射电镜的三个光阑的特点和作用★ 5.透射电镜具体的工作模式和特点★ 电子光学显微镜 透射电子显微镜TEM，Transmission Electron Microscope 扫描电子显微镜（SEM，Scanning Electron Microscope) 电子探针显微分析（EPMA，Electron Probe Micro-Analysis） 扫描透射电子显微镜（STEM， scanning and Transmission 　 前言—— 四类电子光学显微镜的特点 　 Electron Microscope) 1）透射电子显微镜（TEM) 是采用透过薄膜样品的电子束成像来显示样品内部组织形态与结构的、因此它可以在观察样品微观组织形态的同时,对所观察的区域进行晶体结构鉴定,其分辨率最高可达0.1nm ，放大倍数可达106倍。（样品厚度一般在500nm 以下） 2）扫描电子显微镜（SEM) 利用电子束在样品表面激发出代表样品表面特征的信号（二次电子）成像的。最常用来观察样品表面的形貌（断口等）。分辨率可达1nm,放大倍数可达2×105 倍。还可以观察样品表面的成分分布情况。 3）电子探针显微分析（EPMA） 利用聚焦得很细的电子束打在样品的微观区域，激发出样品该区域的特征X射线，分析其X射线的波长和强度来确定样品微观区域的化学成分。将扫描电镜和和电子探针结合起来，则可以在微观形貌的同时对该微观区域进行化学成分的同位分析 4）扫描透射电子显微镜（STEM） STEM同时具有SEM和TEM 的双重功能。如配上电子探针附件，则可以实现对对微观区域的组织形貌观察，晶体结构鉴定及化学成分测试三位一体的同位分析 特别说明： 对于TEM，物镜和投影镜之间还存在“中间镜” 光学显微镜 透射电镜 扫描电镜 电子探针光路比较 光源 聚光镜 样品 样品 物镜 荧光屏或照相底片 信号探测器 LM TEM SEM 投影镜 样品 二次电子 特征X射线 EPMA 透射电子显微镜（TEM） 扫描电子显微镜 （SEM） 电子探针仪（EDS/WDS）：除专门的电子探针以外，有相当一部分电子探针仪是作为附件安装在透射电镜或扫描电镜上 　 § 8-1 透射电镜的结构和成像原理 　 TEM 电子光学系统 真 空 系统 电源与控制系统 照明、成象、观察和记录 机械泵、扩散泵、吸附泵、真空测量、显示仪表 高压电源、透镜电源、真空电源、辅助电源、安全系统、总调压变压器…. 核心 辅助 循环冷却系统 辅助 辅助 电子光学系统的组成（7件）： ①电子枪 ②聚光镜 ③样品 ④物镜 ⑤中间镜 ⑥投影镜 ⑦荧光屏（或照相底片） （照明部分） （成像部分） （观察记录部分） 真空系统剖面图 照明部分 透射电镜的结构 电子枪的灯丝 照明部分:它的作用是提供一束亮度高、照明孔径角小、平行度好、束流稳定的照明源。包括电子枪和聚光镜。 电子枪是电子显微镜的电子源。 2.聚光镜 聚光镜用来会聚电子枪射出的电子束，以最小的损失照明样品，调节照明强度、孔径角和束斑大小。一般都采用双聚光镜系统。 4.物镜：强励磁短焦透镜（f=1-3mm),放大倍数100—300倍。 物镜和样品之间距离总是固定不变的 作用：形成第一幅放大像. 7.荧光屏和照相机： 在荧光屏下面放置一下可以自动换片的照相暗盒。由于透射电子显微镜的焦长很大，虽然荧光屏和底片之间有数十厘米的间距，仍能得到清晰的图像 M总＝M物×M中×M投 6? 投影镜：短焦、强磁透镜. 5.中间镜：弱短透镜，长焦，放大倍数可调节0—20倍 作用：a.控制电镜总放大倍数。 b.成像/衍射模式选择。 作用: 进一步放大中间镜的像。 1）若中间镜的物平面和物镜像平面重合，则在荧光屏上 中间镜：通过调整中间镜的透镜电流 控制电镜总放大倍数, 进行成像/衍射模式选择 中间镜的作用 2）若中间镜物平面和物镜后焦面重合，则在荧光