chap8_扫描电子显微镜-2.pdf

第九章 扫描电子显微镜和电子探针  9.1 扫描电子显微镜  9.2 电子探针 第二节 电子探针 电子探针的功能主要是进行微区成分 分析，它是在电子光学和X射线光谱学原 理的基础上发展起来的一种高效率分析 仪器。 电子探针镜筒部分的构造大体上和扫 描电子显微镜相同，只是在检测器部分 使用的是X射线谱仪，专门用来检测X射 线的特征波长或特征能量，以此来对微 区的化学成分进行分析。 一、电子探针的结构 图18-24 电子探针的结 图18-2 扫描电子显微镜 构示意图 结构原理的框图 电子探针的镜筒及样品室和扫描电镜无本质 上的差别，因此要使一台仪器兼有形貌分析和 成分分析两个方面的功能，往往把扫描电子显 微镜和电子探针组合在一起。 电子探针的信号检测系统是X射线谱仪。 用来测定特征波长的谱仪叫做波长分散谱仪 （WDS）或波谱仪。 用来测定X射线特征能量的谱仪叫做能量分 散谱仪（EDS）或能谱仪。 二、波长分散谱仪 1.工作原理 分光晶体可使样品 作用体积内不同波长的 X射线分散并展示出来。 虽然平面单晶体可 以把各种不同波长的X 射线分光展开，但就手 机单波长X射线的效率 来看是非常低的。 图18-25 分光晶体 图18-26 两种聚焦方法 a）Johann型聚焦法 b）Johansson型聚焦法 L 2R sin 1 1 分光晶体直线运 动时检测器能在几 个位置上接收到衍 θ1 射束，表明试样被 激发的体积内存在 着相应的几种元素。 衍射束的强度大 小和元素含量成正 比。 图18-27 直进式波谱仪 分光晶体和 检测器在聚焦圆 的圆周上以1:2