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国内外生产多晶硅新方法探析探究一、引言 通过不断的生产实践积累，我国多晶硅产业已深刻掌握了改良西门子技术模化生产的核心技术。近几年来，我国多晶硅企业通过自主研发、引进国外先进工艺技术并消化、吸收、改造，使得多晶硅生产形成大规模产业化体系。据统计，部分技术先进的企业生产多晶硅的能耗已低于80千瓦时。而一些企业也将生产成本已降至20美元/千克，达到国际领先水平。而且大多数企业仍在继续优化生产工艺以进一步降低生产能耗和成本，从而提高产品的市场竞争力。与其它化工企业相比，多晶硅生产过程中产生的污染物不仅单一，而且容易处理和监控。从我国多晶硅生产整体状况来看，多晶硅生产过程中的副产物综合利用方式和效果直接关系到多晶硅生产的经济效益、物能消耗、生态环保以及生产运营。目前国内大部分多晶硅生产企业都解决了全物料循环和清洁生产的问题；有些正处于技术改造升级过程中的企业则主要通过远销国外、综合利用和无害处理等方法进行处理，不存在有任意排放的现象出现。国内多数企业对多晶硅生产过程中所产生的高沸点和低沸点的难以回收的副产物大都采用淋洗、碱中和等方式进行处理，部分企业也已采用了歧化处理、白炭黑制备等设备来处理。合理有效地处理多晶硅的副产物，不仅是减排环保的必然要求，对企业提高综合经济效益也十分有利。 二、国内多晶硅生产方法研究 目前我国的大部分多晶硅企业无论在技术水平、生产规模、科技创新上，还是在资金支持、政府扶持上，同国外的大企业都悬殊很大，竞争力处于明显弱势。要想在国内外多晶硅市场立于不败之地，就必须研究出生产多晶硅的新工艺，新方法。大连理工大学的马晓东设计了冶金法提纯工业级硅的新型工艺路线，采用自发研制的酸洗装备、真空电磁感应熔炼炉与真空定向凝固炉和电子柬熔炼炉与定向凝固炉对工业硅进行了一定规模的纯化研究工作，确定了使用单种酸进行洗涤的条件下的相关洗涤参数，同时还提出了在超声波的作用下进行的酸洗工艺，采用电子束熔炼去除工业硅中多种高沸点杂质，取得了良好的效果。大连理工大学的张剑对使用冶金法制备太阳能级多晶硅技术进行了细致的探索研究，提出了一种采用冶金技术将工业级的多晶硅的纯度提纯至5N以上的方法和工艺，同时还就坩埚的选择、检测技术和腐蚀方式研究制定了一系列相关的多晶硅提纯设备，并采用电子束精炼提纯的方法，利用设计制造的电子束精炼设备研究了电子柬的工作模式、精炼需要的温度、精炼需要的时间、电子束的功率、进料控制的速度等各种因素对电子束精炼效果的影响。冉炜等人利用等离子体技术，在一个30千瓦的等离子体反应器上进行多晶硅生产，实验时的实际功率为16千瓦至17千瓦。氢气作为放电气体能够产生等离子体，同时也是作为四氯化硅的还原剂。将四氯化硅直接通人反应器，四氯化硅的进料量控制在0.8L/h。在等离子体反应器中，首当其冲被等离子化的是氢气，随后氢气解离为化学活性的原子态，氢原子再与四氯化硅进行反应逐步生成多晶硅。 三、国外多晶硅生产方法研究 国际上多晶硅生产的典型特点就是多种生产工艺路线并驾齐驱，实行产业化技术封锁和垄断，目前，国际上多晶硅生产方法主要是传统工艺上的改良西门子法、硅烷法和流化床法。而且新型的成本较低的多晶硅工艺技术研究领域变得十分活跃。这些新型方法主要涉及到改良西门子法中的低价格的工艺、利用冶金法从金属硅中直接提取高纯度硅、以高纯度的二氧化硅为原料直接制取多晶硅、铝-硅熔融体系低温条件下制备太阳能级多晶硅等工艺技术。Aulich等报道了先进的碳热还原技术，即将高纯的石英砂制成团块之后，用压成了块状的碳黑对其进行还原，而使用的碳黑是用热的盐酸浸泡过的，它的纯度和氧化硅旗鼓相当。因为在电弧炉中大约有百分之十的碳是来自电极的，因此碳中的有效杂质含量相对较高。而目前存在的主要问题就是碳的纯度得不到保证。日本京都大学的伊藤靖彦教授发表了利用熔融盐电解法低温制备多晶硅的新工艺方法，该研究分别在氯化钙-氯化钾-氯化锂-氯化钙的熔融盐体系中均可以实现。后来他们又对该新工艺进行了更加深入系统的探索研究，提出了以废弃的石英光纤预制棒废料作为原料，利用熔盐电解法直接制备太阳能级多晶硅的新技术，并已经取得了一定的研究进展。日本东京大学的森田一树副教授提出在采用铝－硅熔融体系低温凝固精炼法制备太阳能级多晶硅过程中可以利用铝–硅熔体降低精炼所需的温度。以硅和铝废料为原料，采用低温熔体凝固法制备太阳能级多晶硅技术目前已经取得了阶段性研究进展，并提出了利用此种方法生产太阳能级硅的基本工艺流程。 四、多晶硅生产方法展望 多晶硅的生产过程具有高技术含量、高产品附加值、高工业总产值的优点，而且一般的生产过程对能源的消费结构很单一，生产单位产品产生的综合能耗相对于其他行业来说并不算太高，所以多晶硅可以算是典型的高效节能产品。要想消除制约我国