功能薄膜考试重点(万青老师部分).pdfVIP

1． 什么是薄膜（ thin film ）？采用一定方法，使处于某种 balabala 答： 由原子，分子或离子沉积在基片表面形成的 2 维材料。例：光学薄膜、复合薄膜、超导 薄膜、聚酯薄膜、 尼龙薄膜、 塑料薄膜等等。 薄膜被广泛用于电子电器， 机械， 印刷等行业。 薄膜材料是指厚度介于单原子到几毫米间的薄金属或有机物层。 电子半导体功能器件和 光学 镀膜 是薄膜技术的主要应用。 2 ． 薄膜技术重要性（日常生活中的薄膜，功能） 3 ． 集成电路中的薄膜（沉积方法） 答：采用薄膜工艺在玻璃或陶瓷基片上制作电路元、器件及其接线，并加以封装而成。 薄膜 工艺包括蒸发、 溅射、化学气相淀积等。 特点为电阻、 电容数值控制较精确， 且数值范围宽， 但集成度不高。主要用于线性电路。 4 ． 薄膜制备技术（四五种，基本原理适合制备哪些薄膜）蒸发，磁控溅射，离子束，原子 层沉积 * （基本概念，优缺点，举例以 AL2O3 沉积为例） 答 ： 5 ． 薄膜技术的应用（）集成电路，显示，光伏，传感器， led, 6 ． 结构表征（ x 射线衍射，扫描电镜，投射电镜， x 射线光电子能谱） 7 ． 真空的概念，表征单位，如何获得真空（常见的泵） 答：工业和真空科学上的真空指的是，当 容器 中的压力低于 大气压 力时 ,把低于大气压力的 部分叫做真空，真空常用 帕斯卡 （Pascal）或 托尔 （Torr ）做为压力的单位。活塞泵、旋片 泵等通过活塞或旋片的不断运动，改变泵体的体积，把气体排放出去， 获得真空。 扩散泵用 高速运动的气流， 把扩散到泵体的气体分子带走。 此外还有利用低温表面来 冷凝 或冻结气体 的低温泵，如液氦冷凝泵；利用吸气材料如活性炭等吸气作用的吸附泵，等等。 8 ． 新的知识的掌握（石墨烯，原子层沉积） 答： 1、石墨烯： 石墨烯（ Graphene ）是一种由碳原子构成的单层片状结构的新材料。是一种由 碳原子以 sp2 杂化轨道组成六角型呈蜂巢晶格的平面薄膜， 只有一个碳原子厚度的二维材料。 2 、原子层沉积： 是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。原子 层沉积与普通的 化学沉积 有相似之处。 但在原子层沉积过程中， 新一层原子膜的化学反应是 直接与之前一层相关联的，这种方式使每次反应只沉积一层原子。 9 ． 与自己课题的结合（自己所用的薄膜技术生长什么薄膜采用什么方法）设计实验 10． 你对薄膜应用前景的理解