原创力文档o3有效钝化多孔硅的研究 investigation of an effective passivation method for porous silicon with the aid of ozone molecules.pdfVIP
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- 2017-08-20 发布于上海
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o3有效钝化多孔硅的研究 investigation of an effective passivation method for porous silicon with the aid of ozone molecules
光 电子 ·激 光
第 卷 第 期 年 月
17 4 2006 4 VOl.17 NO.4 A r.2006
Journalo O toelectronics Laser
f p
03 有效钝化多孔硅的研究%
%
黄燕华 !陈松岩!江炳熙
厦门大学物理系 福建 厦门 361005
摘要 开发了用 氧化钝化多孔 的实用工艺方法
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