naoh-naclo腐蚀液制备太阳电池用多晶硅绒面的研究 naoh-naocl textured multicrystalline silicon surface for solar cell.pdfVIP

《半导体光 电~2012年 2月第 33卷第 1期 黄仕华 等： NaOH—NaCl0腐蚀液制备太阳电池用多晶硅绒面的研究 NaoH—NaClo腐蚀液制备太阳电池 用多晶硅绒面的研究 黄仕华，沈艳婷 (浙江师范大学 材料物理系 。浙江 金华 321004) 摘 要 ： 介绍 了一种采用 NaOH—NaC1O混合腐蚀液制备 多晶硅绒面的新方法。研 究结果 表明，-3VNoH：VNaclo一1：3，NaOH浓度为 17 ，腐蚀温度为 8O℃，腐蚀时间为 20min时，能够 得到均匀的沟壑状凹坑多晶硅绒面，腐蚀后硅片表面的反射率与未腐蚀 的硅片表面的反射率相比， 降低近 30 。另外 ，与传统的 HF：HNO。酸腐蚀工艺相 比，这种新型腐蚀工艺不仅可 以获得反射 率更低的多晶硅绒面结构，而且反应过程 中产生的具有高度活性的氯离子可以作为很好的吸杂剂， 降低一些有害的金属杂质的活性以提高太阳电池的开路 电压 ，同时也省去 了在产业化生产过程 中 的盐酸处理，从而改善 了生产环境。 关