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《材料分析测试技术》多媒体课程  第二章 显微分析技术 《材料分析测试技术》多媒体课程 扫描电子显微镜SCANNING ELECTRON MICROSCOPY 徐立新 例4 纳米碳管形貌 2.1.4 扫描成像原理 ( Principle of scanning imaging ) 返回目录 1、成像过程：扫描电子束激发二次电子、反射电子，经光电放大，由 显像管原理成像。 2、放大原理：微弱的电子信号转变为光信号并经光电放大的形式进行 传送和放大。 3、扫描方式：由扫描控制电路共同控制扫描电子束和成像电子束，实 现同步快速扫描。 4、衬度原理：凹凸不平的样品表面具有不同的二次电子产率，形成不 同明暗程度，形成表面形貌衬度。 试 样 荧光屏 1、分辨率：扫描电镜的分辨率与扫描电子束的直径有密切关系，目前扫描电镜的分辨率已优于2nm。 2.1.5 衬度、分辨率与放大倍数（三元素） 2、放大倍数：荧光屏分辨率/电子束直径，连续可调节，约为20-2，0000倍。 型 号： JSM-35CF 分 辨 率： 60埃=6nm 工作电压： 0-39kv 放大倍率： 10-20000倍 生产厂家： 日本电子 2.1.6 仪器结构和外形 返回首页 2.1.1 电镜的分类与特点 2.1.2 扫描电镜定义 2.1.3 扫描电子束特点 2.1.4 扫描成像原理 ( 重点 ） 2.1.5 扫描电镜三元素 2.1.6 仪器结构组成 2.1.8 具体应用（重点） 2.1.7 样品制备方法 (重点） （1）电子光学系统 电子枪、聚焦磁透镜、扫描系统等 （2）检测系统 栅网 聚焦环 光导管 光电倍增管 视频放大 二次电子流量最小为10-12 A左右，信号很弱。 （3）真空系统 避免镜筒内运动电子与气体分子碰撞。 避免电子枪高压放电。 试样在高真空环境下可以避免污染。 真空度要求：1.33(10-2-10-3)Pa。 （4）显示系统 显像管（观察用）：长余辉荧光屏 显像管（照相用）：短余辉荧光屏 2.1.7 样品制备和固定 1、样品基本要求 （1）严格去除挥发性物质（水份、溶剂等）。 （2）应具有足够的抗电子损伤能力。 （3）保持较高的纯度。 2、基本形状 块 状 薄 膜 纤 维 粉 状 3、固定方法 （1）导电性样品： 样品台 双面胶 样 品 双 面 胶：银粉或碳粉调制而成，以提高导电性。 粘接技巧：要求普通双面胶在试样与样品台之间留出 位置，导电性胶应多覆盖试样表面。 （2）非导电性材料（高分子样品） 镀层：导电层，如金、银、碳真空蒸发膜，厚度控制于10-20nm。 样 品 镀层样品 样品台 2.1.８ 具体应用 浙江工业大学 化学工程与材料学院 ???????????????????????????????????????????????????????????????????? ???????????????????????????????????????????????????????????????????? ???????????????????????????????????????????????????????????????????? ???????????????????????????????????????????????????????????????????? ???????????????????????????????????????????????????????????????????? ???????????????????????????????????????????????????????????????????? ???????????????????????????????????????????????????????????????????? 2-1 扫描电子显微镜 * * * 浙江工业大学 化学工程与