非晶sio2纳米线的合成及其显微结构和光学性质的研究 synthesis and photoluminescence of amorphous sio2 nanowires.pdfVIP
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非晶sio2纳米线的合成及其显微结构和光学性质的研究 synthesis and photoluminescence of amorphous sio2 nanowires
第27卷第2期 电 子 显微学报 V01.27,No.2
2008年4月 JournalofChineseElectron 2008.04
MicroscopySociety
文章编号:1000—6281(2008)02—0102.06
非晶Si02纳米线的合成及其显微结构
。 ’和光学性质的研究
秦 艳,张晓娜。,郑 坤,韩晓东。,张 泽
(北京工业大学固体微结构与性能研究所,北京100022)
‘
nm处存在一个较
分析结果表明这些纳米线为非晶Si02纳米线。光致发光(PL)谱测试结果显示纳米线在波长550
随着微纳米技术的发展和集成光学技术的进 可控的高温炉中进行,具体实验装置可参考文献
步,合成纳米尺度的发光。材料以满足纳米光电子器
件的需要变得尤为重要。从Canham…观测到多孔
埚内。选用Si片做衬底,将硅片倾斜放人坩埚内,
硅的发光现象以来,多孑L硅、硅纳米线、氧化硅纳米 再将坩埚置于石墨加热体上。实验过程中,对反应
线及非晶Si/SiO。薄膜等乜。1硅基材料的光致发光
腔抽真空到10Pa左右,然后充入Ar气至0.27×
性质得到广泛的研究。其中氧化硅纳米线作为一种
10sPa,加热时保持稳定的温度增长速率,温度升高
光致荧光材料,在高分辨近场光学扫描显微镜、低维
到约950。C,保温15min。当反应完成自然冷却到
度的光婆导、纳米光电子器件等方面具有潜在的应 室温后,在衬底及坩埚内壁上沉积了大量白色絮状
用价值怕1。
物。
。㈨龛曼多笆焦氅脊譬.望烹冀.4曼.孝.蛩o,:鬯光譬竺 利用场发射高分辨扫描电镜(
4LoEJ)
姜:亭咚_璧篙篾二二热蒸笆篓童氅‘学气侧4:1合譬 型在≥品鬟裙茗釜苄畚磊;羹蒺磊SE积M荔的形貌650;0用F
一“…5”。一。“…。”…~…”、””…~””
法旧。等。wu等¨刮加热SiO,和活性炭在13500C得
2010F
nm。lio 透射电子显微镜(TEM)JEoL2010型及JEOL
到了直径分布在60 nm的非晶SiO,纳米
型在200
线,并研究了纳米线的发光特性;Zhu等…3加氛石英 kV的操作电压下对沉积物的显微结构进
行了表征;利用TEM上配备的能谱仪(EDs)对样品
片上的SiC和CO粉末,在l500。C制得了氧化硅纳 进行成分分析;电子能量㈣(EELS)的获取在场
米线,另外,还有使用其它催化剂如:Au、Sn、Ga
等‘12~141来合成非晶氧化硅纳米线。本文使用热蒸发射透射电镜JEOL2010F型上完成;光致发光(PL)
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