跟踪式偏振光三角法测头 polarization-light triangulation tracking probe.pdfVIP

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2017-08-21 发布于上海
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跟踪式偏振光三角法测头 polarization-light triangulation tracking probe.pdf

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跟踪式偏振光三角法测头 polarization-light triangulation tracking probe

第34卷第12期光电工程、，01．34．No．12 2007年12月 Opto—ElectronicEngineering Dec．2007 文章编号：1003—501X(2007)12-0049_05 跟踪式偏振光三角法测头赵敏，邱宗明，郭彦珍，刘宏昭 (西安理工大学机械与精密仪器工程学院，陕西西安710048) 摘要：针对三角法测量的不足，设计了一种跟踪式偏振光三角法测头．对三角测量法的理论分析表明减小测量范围能提高测量精度．测头结合表面跟踪方法与三角测量法，跟踪使测量范围不受限制；仅在小范围内进行三角法测量，测量精度大大提高。对金属表面的反射特性进行了分析和推导，得出镜面反射与漫反射具有不同的偏振特性．通过偏振滤光减少了镜面反射光对测量的影响，从而降低了对被测表面材质的要求。本文给出了测头结构和工作原理。试验表明，测头能测量镜面反射较强的金属表面，测头可自动跟踪表面，并可结合测距仪实现表面形状的高精度测量。关键词：跟踪；三角法；偏振光；表面面形中图分类号：TN247 文献标志码：A Polar娩ation-lighttriangulationtracl‘ingprobe ZHAo YhⅡ-zhen，LIU Min，QIU Zong—ming，GUo Hong-zhao Inst，mmemnl 0school嘭Mec}lnnicnt Abstract：A is tooverc咖etlle of tri柚gLIlati∞ polarizati∞-lighttri柚gIllation衄ckillgprobcdesi印ed shonconling that n粉s心期ent．Themcoretical of me硒u佩nent c锄be amlysestri柚gIIlati∞mcthodprove pDecisionimproVedby me勰urement method metllodwitll method． reducing r蜘ge．Theproposed c锄bin骼sllrfhcc们cingtri柚gulation islinlitless is me舔urcmem Me觞urement啪geby仃acking．Me豁ummem眦isionimpro、^edgreatlybytriangulation in the metal ∞ly small舢ge．Analyzing柚ddcriVillgrenecti∞prope啊ofs删‰e，di航rcntpol撕zationproperties toreduceⅡlebadefl’ectof betwe∞mi肿rrenecti∞anddi伍峪e is璐ed reflecti∞a∞0btailled．PoI撕zation．1ightfiltcring mirrofrenection 10w盯