光波导显微技术测量微小厚度变化 thickness measurement of tiny change based on guided wave microscopy.pdfVIP

下载本文档

2
0
约1.19万字
约 5页
2017-08-21 发布于上海
举报
版权申诉

光波导显微技术测量微小厚度变化 thickness measurement of tiny change based on guided wave microscopy.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

光波导显微技术测量微小厚度变化 thickness measurement of tiny change based on guided wave microscopy

第34卷第2期光电工程 Vbl．34．No．2 2007年2月 Opto—ElectronicEngineering Feb．2007 文章编号：1003～50】X(2007)02一0032—05 光波导显微技术测量微小厚度变化杜嘉斌，刘选斌，沈启舜，朱鹏飞，曹庄琪 (上海交通大学物理系，上海200240) 摘要：在表面等离子波显微技术(sPM)的基础土，提出了一种新的反射型波导显微理论，并且进行了实验研究。这种显微技术采用棱镜波导耦合结构，在棱镜下底面依次镀有金属膜一波导层～样品层。利用导模共振吸收峰对样品层厚度敏感的特性，通过反射光强的测量来确定样品层厚度的变化值。和表面等离子波显微技术相比，光波导显微技术所采用的波导结构能够有效地削弱金属的吸收特性造成的影响，减小衰减全反射曲线的半峰全宽，进而提高波导显微对厚度变化的灵敏度。实验表明，光波导显微技术对厚度变化有很高的灵敏度。关键词：导波光学；衰减全反射；显微术；金属薄膜中图分类号：TN814 文献标识码：A Thicknessmeasurementof basedon waVe tinychange guidedmicroscopy DUJia．bin，LIUXuan-bin，SHEN Qi—shun， ZHU Peng—fei，CAOZhuang—qi 200240，∞f门∞ (D印a，fmPⅢ矿Jp矗声油鼢乜门助口f撕口D而馏№fVP坶妙，鼢a，29砌f Abstract：Anew of is therismand type microscopyproposedbyLIsing p asymmetricalmetal-claddingpoIymer structureconsistsofa and nlmcoatedonthebottomofrismin waveguideconnguration．The couplingprism3-layer p ordeLThe filmsare and r．OwetothesensitiVefeatureof laye sample proper 3一layer metallayer，waVeguidelayersample the can thicknesstotheresonance ofthe of thicknessbedetermined absorption guidedmode，thechange sanlple peak of themeasurementofthe rimentalresultsshowthe the intensity．Theexpe highsensitiVityproposed through Ii