4材料结构分析方法7-8.docVIP

第七章 透射电子显微术 7.1 引言 看物体的极限 （1）人眼不能看到比0.1mm更小的特体或物质结构细节，借助光学显微镜，可以看到细菌、细胞等小物体。由于光波的衍射效应。（2）光学显微镜的分辨率极限大约是光波的半波长，可见光的短波长约为0.4μm，所以光学显微镜的极限分辨本领是0.2μm。要观察更微小的物体，必须利用更短的波作光源。 （3）100KV电压加速的电子，相应的德布罗依波的波长为3.7pm，比可见光小几十万倍，物理学家们利用“电子在磁场中运动与光在介质中传播相似的性质”，研究成功了电子透镜。并于1932－1933间制成了第一台电子显微镜，现代高性能的透射电子显微镜，点分辨本领优于0.3Anm，晶格分辨本领达到0.1－0.2nm，而且自动化程度高，具有多方面的综合分析功能，是自然科学一些领域中观察微观世界的“科学之眼”。在生物学、医学、材料科学中，在物理、化学等学科和矿物、地质部门中，电子显微分析都发挥着重要作用，电子显微镜使人们进入观察“nm粒子”结构的时代，已直接看到了某些特殊的大分子结构（氯代酞菁同），还看到了某些物质的原子像。 一、电子显微镜的光学基础及透气类型： 电子光学是电子显微镜的理论基础，主要研究电子在电磁场中的运动规律及如可造成图象的放大作用。 1、电子的波动性与电子的波长 以速度V、质量m运动的微粒法布罗依波的波长为 h、普朗克常夹 （7－1） 初速度为0的电子在电位差为V的电场中加速，获得动能为 t、电子荷电量 （7－2） ∴ （7－3） （7－4） 由于电子显微镜所用电压在几十千伏以上必须进行相对论校正： ∵ 加速电压（KV） 1 10 50 100 1000 电子波长（pm） 38.78 12.26 5.48 3.88 1.23 相对论修正后（pm） 38.76 12.20 5.36 3.70 0.87 透射电镜加速电压一般在50－100KV，电子波长在5.36－3.70nm，比可见光波长了十几万倍，比X射线也小1－2个数量级。 电子具有波粒二象性：在电子显微术中讨论电子在磁场中的运动轨道及电子散射等问题突出了粒性，而讨论电子的衍射及衍射成象问题时，是从电子波动性出发的。 2、静电透镜 （1）电子光学析射定律 电子在静电场中受到洛伦兹力为 （7－5） V’1=V’2 visinα1＝V2sinα2 （7－6） ∴ （＊） n为介质折射率 起着电子光学折射率的作用，故用ne表示并称之为电子光学折射率。 （7－8）式为静电场中电子光学折射定律的数学表达式。①当V2＞V1时，α2＜α1，电子向电场等位面法线折射；②当V2＜V1时，α2＞α1，电子远离电场等位面法线折射。与光线折射相似，但电子运动介质是电场，折射面是电场等位面。 （2）静电浸没物镜与电子显微镜中光源效应 “利用电子在电场中运动的特性”，因此制成了各种电子光学透镜。带电的旋转对称的电极在空间形成旋转对象的静电场，轴对称的弯曲电场对电子束有会聚成像的性质，这种旋转对称的空间系统被称为静电电子透镜（称简静电透镜），阴极处于透镜电场中时称为静电浸没物镜。因为只有静电场才可能使自由电子加速，增加动能，得到高速电子束，所以各种电子显微镜的电子枪都必须用静电透镜，一般用静电浸没物镜，“由控由阴极、控制极（栅极）和阳极组成。阴极处于零电位，阳极接正电位，控制极一般接负电位。”阴极尖端附近的自由电子在阳极作用下获得加速度，控制极附近的电场对电子起会聚作用，阳级附近的电场有发散作用，但因电子接近阳极时运动速度已相当大，阳级孔的直径又比较大，因此发散作用较小。控制极附近的A点，电场强度矢量上电场等位面，指向电位低的方向，和方向相反（7－5）式，分解为平行于对称轴向分量FZ和垂直 对称轴向分量Fr、FZ使电子沿轴向加速，Fr指向对称轴，因为电场是旋转对称的，各个方向的电子都向轴靠近，形成向轴会聚的电子束。阳极的发散作用为B点经向分量Fr背离子对称轴方向，但由于电子速度已增大，故发散作用小于前一部分的会聚作用，总结果使会聚角较大的电子束变成会聚角较小的电子束。类似凸凹透镜组成的系统。电子束中电子的能量为ev，取决于阴阳极间电位差，控制极除对电子束起（1）会聚作用外还能控制（2）电子束强度。其负电位增大时，阴极发射电子区域减小，电子束强度变小，反之亦然。电子枪出来电子束的交叉斑cd即电子显微镜中光源斑点，在电镜中“静电浸没物镜”称电子枪。 3、磁透镜（CGMS制） 运动电子在磁场中受到的洛伦磁力m为 （7－9） －电子运动的速度矢量，－磁场强度矢量，该作用加力大小为 其方向始终垂直于电子的速度矢量和磁场强度矢量组成的