认识超导量子干涉元件SQUID及其前瞻性的应用.DOCVIP

最敏感的感測元件SQUID及其前瞻性應用 楊鴻昌 臺大物理系教授 E-mail : hcyang@phys.ntu.edu.tw 1. 前言: 超導量子干涉元件 (Superconducting Quantum Interference Device, 簡稱SQUID) 是目前所知最敏感的磁通偵測器，其獨特的磁通與電壓的週期特性，使得SQUID已被使用在精密測量，成為微弱物理量如磁場、磁場梯度、電流、電壓、電阻、電感及磁化率等測量上最靈敏的感測元件。在生物醫學應用上 SQUID更可組成心磁波及腦磁波掃描儀，可立即顯示生物的心磁或腦磁圖像，以做為醫學在心臟功能[1]或腦功能[2]臨床輔助診斷工具。在材料的非破壞性檢測等方面，SQUID已被研發來檢測橋樑鋼骨結構[3]、飛機起輪框等缺陷[4]；甚至最近已有人利用高溫超導SQUID做地震[5]或考古[6]等的研究。另外，SQUID 可製成的磁通顯微鏡[7, 8]從事基礎研究，及其在生物科技的抗體檢測等[9]的研究上也有很廣的前景。由以上看來，SQUID是一種非常有前瞻性之精密超導電子元件。 2. 認識SQUID SQUID是由兩個約瑟芬元件(Josephson junctions)以並聯方式組成，它是由英文Superconducting Quantum Interference Device字首組成的簡寫字。圖一所示為約瑟芬元件之示意圖，而約瑟芬元件是由兩邊是超導體(S)中間夾著絕緣層(I)所組成的超導元件[10]，當兩個約瑟芬元件(Josephson junctions)以並聯方式組成如圖二所示的幾何形狀的元件，此元件俗稱超導量子干涉元件或稱之為SQUID [11]。當絕緣層的厚度薄到幾埃厚度的時候，則超導電子對(Cooper pair)可由一邊的超導體穿隧到另一邊之超導體。宏觀上超導體中的電子對可用波函數，( = (((ei( 來描述，此處(((為波函數的振幅，i =( -1，(為兩超導體間的相位差，即( = (1 - (2 。此圖中的Josephson公式，I = Ic sin(，是描述流經元件的電流I與兩超導體間的相位角( 之間的關係，此處Ic為臨界電流。當流經約瑟芬元件的電流大於Ic時，元件會出現電壓，V，此時相位差(與電壓V之間會滿足另一Josephson公式，即d(/dt = - 4(eV/h，此處e 為電子的電量，h為Planck常數。這種超導電子對的穿隧行為是由英國科學家Brian Josephson 所預測的，他經由量子力學方程式推導出直流及交流約瑟芬效應，由於他在穿隧物理的傑出貢獻，因此分享了1973年的諾貝爾物理學獎。 圖一. 超導體(S)/絕緣層(I)/超導體(S)，組成SIS幾何形狀的約瑟芬元件。 圖二 兩個約瑟芬元件並聯組成SQUID。 2.1 SQUID元件之製作: 現在以YBa2Cu3Oy (YBCO)高溫超導體為例子來說明如何研製YBCO SQUID。基本上，高溫超導SQUID是由各種不同幾何形狀約瑟芬元件所發展出來的，如圖三所示的平面三明治、雙磊晶、階梯(step)、弱連結、雙晶體及階梯邊緣(step-edge)等各種形式。高溫超導SQUID較有前瞻性應用則是以雙晶體、階梯及階梯邊緣 (step-edge)等元件。我們現在則以階梯邊界接面為例子來說明其製程。研製階梯式YBCO SQUID先要把基座以半導體的曝光、顯影及蝕刻等技術做出階梯，圖四所示為實驗室所發展出來的階梯式基座的製程及蝕刻結果[12]。MgO基座是藉由銀膠與銅塊接觸達到水冷卻的效果、MgO上面的FH6400 為光阻，基座的法線與入射Ar+離子方向之夾角，(，可改變，以改變蝕刻速率及階梯角度。右上圖四(b)是製程完成後經原子力顯微鏡檢測其階梯座角度與Ar+離子束入設角之關係，由圖我們可以看出當入射角大於65(時，階梯的角度可達70(; 圖四(c)則是製作MgO階梯，其蝕刻速率與(角之關係。圖五所示為約瑟芬元件之製程，製程方法是在為MgO 階梯式基座上鍍上YBCO薄膜[13]；鍍完YBCO薄膜然後再以曝光、顯影及蝕刻等技術做出階梯邊緣約瑟芬元件。圖六為完成製程後SQUID元件之幾何形狀，階梯基座高度約0.2 (m，薄膜厚度約0.2 (m，元件寬度約為5 (m，SQUID洞的面積約為30(60 (m2等尺寸。 圖三 (a) 平面三明治，(b) 雙磊晶，(c) 階梯，(d) 弱鏈結構，(e) 雙晶體， 及(f) 階梯式等約瑟芬元件。 圖四 (a) 可改變Ar+離子入射角度 ( 的 旋轉銅樣品架， (b) 階梯式基座角度與入設角之關係，(c) 階梯蝕刻速率與(角之關係。 圖五.(a)在MgO 階梯式基座上鍍上YBCO 薄膜；(b) 將YBCO薄膜以曝