基于介质上电润湿的液滴产生器的研究 study on dispenser of liquid droplets based on electrowetting-on-dielectric.pdfVIP

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基于介质上电润湿的液滴产生器的研究 study on dispenser of liquid droplets based on electrowetting-on-dielectric

第30卷第1期 电子器件 v01.30No.1 De、,ices 2007年2月clline辩J蚴lⅨElectrUnFeb.2007 on of Basedon StudyDispenserLiquid Droplets YUE Lpttnn Rui—feng,WU Ji伽-gQng,ZENGxe_feng,KANGM锄g,LIU (h劬“地o,尬croez8cfr鲫fcs,ni行曲敝晚iw邝叻,Bet,f增100084,吼f埘) tothefundamental of factorsthat Abstract:According theory affect andcreationof of in transportation dropletliquidSandwich-structuredevicesfordigital havebeen anovel of of has in systems been theoreticallyanalyzed,anddispenserdropletsliquid developed whichthe issandwichedbetweenthe andbottom Forthebottom isusedas liquid top plates. plate,silicon thesubstrate,the LPCvD(Lowchemicalva— heavilyphosphorus。doped by polysilicondeposited pressure themicroelectrode Si()2filmasthedielectric pordeposition)as array,andthermallygrown layer;thetop isa coveredwith ITOasthe Teflon。AFl600filmof30nm plateglassplate transparent electrode;a ground is onthesurfaceofboth asthe The resultsshowthe spun plates hydrophobiclayers。 experimental proto— ofthe can D1 Hz dispenser of waterfromreservoirat10 70V type dispensedroplets appliedvoltage. Key

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