利用zno薄膜温变特性构建光纤温度传感器 optical fiber temperature sensor based on temperature-dependent optical properties of zno film on the sapphire fiber-ending.pdfVIP

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2017-08-22 发布于上海
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利用zno薄膜温变特性构建光纤温度传感器 optical fiber temperature sensor based on temperature-dependent optical properties of zno film on the sapphire fiber-ending.pdf

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利用zno薄膜温变特性构建光纤温度传感器 optical fiber temperature sensor based on temperature-dependent optical properties of zno film on the sapphire fiber-ending

第36卷第lO期光电工程、，oI．36．No．10 2009年10月 Opto—ElectronicEngineering Oct．2009 文章编号：1003—501X(2009)10—0094—06 利用ZnO薄膜温变特性构建光纤温度传感器隋成华，郑东，刘玉玲，蔡萍根，许晓军 (浙江工业大学理学院应用物理系，杭州310023) 摘要：采用电子柬蒸发的方法在蓝宝石光纤端面上生长ZnO薄膜，不同测试温度下透射光谱表明：ZnO薄膜的光学吸收边随温度的升高呈明显的红移。根据ZnO薄膜的光学吸收边所呈现的这一负温度效应，研制了基于ZnO nm／℃。该光薄膜温变特性的透射式光纤温度传感器。实验表明，在室温至500℃测温范围内其灵敏度优于O．05 纤温度传感器的测温范围理论上可从负温区(约．260℃)至高温区(约700℃)。与其他传统的温度传感器相比，该温度传感器具有结构简单，成本较低，测量稳定性高和量程范围宽等优点．关键词：ZnO薄膜；蓝宝石光纤；光学吸收边；光纤温度传感器中图分类号：TN247 文献标志码：A do Basedon Fiber Sensor OpticalTemperature ofZnOFilmonthe OpticalProperties SapphireFiber-ending SUI Cheng-hua，ZHENGDong，LIUYu-ling，CAIPing-gen，XUXiao-jun University 310023，China) (DepartmentofAppliedPhysics，CollegeofScience，ZhejiangofTechnology，Hangzhou Abstract：ZnOthinfilmwas 011the Electron—beam transmittance grownsapphirefiber-endingby Evaporation(EBE)．The showthatthe redshiRs with on spectra opticalabsorptionedge obviouslyincreasingtemperature．Basednegative the senorwas effectofthe of ZnOthinfilm，transmissivefiber temperature opticalabsorptionedge opticaltemperature andfabricated．Inthe fromroom to500℃．the is 0．05nm：Cwiththe designed range temperature sensitivitybeyond ofthesensorcanbefrom一260℃to700℃in with experiment．Themeasuringtemperaturerange theory．Compared