利用白光扫描干涉测量表面微观形貌 measurement of surface topography by using white-light scanning interferometry.pdfVIP

利用白光扫描干涉测量表面微观形貌 measurement of surface topography by using white-light scanning interferometry.pdf

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利用白光扫描干涉测量表面微观形貌 measurement of surface topography by using white-light scanning interferometry

第38卷第l期 光电工程 Vbl.38.No.1 2011年1月 Opto-Electronic Jan.20ll Engineering 文章编号:1003—50lx(2011)0l—007l一05 利用白光扫描干涉测量表面微观形貌 刘 晨1,陈 磊2,王 军2,韩志刚2,师丽丽2 (1.合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,合肥230009l 2.南京理工大学电子工程与光电技术学院。南京210094) 摘要:由于激光显微干涉只能测量表面微观形貌的相对高度值。不能进行绝对测量,本文提出了白光显微干涉测 量方法,研制了测量仪器,并对CCD像素格值和PzT进行了标定.该仪器以白光干涉理论为基础,利用空间频 域算法计算白光干涉图零级条纹中心位置,根据零级条纹中心移动量来得到被测工件表面微观形貌.对被测工件 表面进行了测试,试验结果表明:此系统可用于平面,台阶,薄膜,球面等三维微观形貌的测量。 关键词:白光干涉;微观形貌;测量 中图分类号:0439 文献标志码:A Measurement ofSurface 7I’opographybyUsing White—nghtScanningInterferometry LIUChenl,CHEN Jun2,HAN Li.1i2 Lei2,WANG Zhi.gan92,SHI lmtnlmentscience口nd 230009,ChiM; 0、.schootoj op|oelectmnjcEngineering。H啦iUn~ers姆彰Technoto斟,H咖i nHdP}lotoelecfric 2.School《EtectmnicEngineerjng Technolo斟, Nd哪ingUnivers姆西science&Technolo科,Na喇ing2、Q∞4,chiM、 Abstract:Astllel硒erinterference is suitableforthemeasurem∞tofrelatiVeaItitude microscopetestingtecllIlologyonly not insurl’ace is aVailablef.orabs01ute metIlod whiteinter|’erence topographytesting锄d measurement,thebyusing Iight is is instmmentbased0ntllewhite interf.erence tectIIlologyp陀s∞ted.Theme髂uring light theory microscopetesting thecalibrationbetweentIIe ofCCDa11dPZTiscarriedout.The ofthe surf.aceis

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