利用白光扫描干涉测量表面微观形貌 measurement of surface topography by using white-light scanning interferometry.pdfVIP

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2017-08-22 发布于上海
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利用白光扫描干涉测量表面微观形貌 measurement of surface topography by using white-light scanning interferometry.pdf

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利用白光扫描干涉测量表面微观形貌 measurement of surface topography by using white-light scanning interferometry

第38卷第l期光电工程 Vbl．38．No．1 2011年1月 Opto-Electronic Jan．20ll Engineering 文章编号：1003—50lx(2011)0l—007l一05 利用白光扫描干涉测量表面微观形貌刘晨1，陈磊2，王军2，韩志刚2，师丽丽2 (1．合肥工业大学仪器科学与光电工程学院，合肥230009l 2．南京理工大学电子工程与光电技术学院。南京210094) 摘要：由于激光显微干涉只能测量表面微观形貌的相对高度值。不能进行绝对测量，本文提出了白光显微干涉测量方法，研制了测量仪器，并对CCD像素格值和PzT进行了标定．该仪器以白光干涉理论为基础，利用空间频域算法计算白光干涉图零级条纹中心位置，根据零级条纹中心移动量来得到被测工件表面微观形貌．对被测工件表面进行了测试，试验结果表明：此系统可用于平面，台阶，薄膜，球面等三维微观形貌的测量。关键词：白光干涉；微观形貌；测量中图分类号：0439 文献标志码：A Measurement ofSurface 7I’opographybyUsing White—nghtScanningInterferometry LIUChenl，CHEN Jun2，HAN Li．1i2 Lei2，WANG Zhi．gan92，SHI lmtnlmentscience口nd 230009，ChiM； 0、．schootoj op|oelectmnjcEngineering。H啦iUn～ers姆彰Technoto斟，H咖i nHdP}lotoelecfric 2．School《EtectmnicEngineerjng Technolo斟， Nd哪ingUnivers姆西science＆Technolo科，Na喇ing2、Q∞4，chiM、 Abstract：Astllel硒erinterference is suitableforthemeasurem∞tofrelatiVeaItitude microscopetestingtecllIlologyonly not insurl’ace is aVailablef．orabs01ute metIlod whiteinter|’erence topographytesting锄d measurement，thebyusing Iight is is instmmentbased0ntllewhite interf．erence tectIIlologyp陀s∞ted．Theme髂uring light theory microscopetesting thecalibrationbetweentIIe ofCCDa11dPZTiscarriedout．The ofthe surf．aceis