微机电系统基于端口的多领域建模和仿真 port-based multi-domain modeling and simulation of mems.pdfVIP

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2017-08-22 发布于上海
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微机电系统基于端口的多领域建模和仿真 port-based multi-domain modeling and simulation of mems.pdf

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微机电系统基于端口的多领域建模和仿真 port-based multi-domain modeling and simulation of mems

第30卷第1期电子器件 V01．30No．1 2007年2月 aliI】e鸵Jo啪aIOfEIectronDE晰。鹤 F色b．2007 Port-BasedMulti—Domain SimulationofMEMS Modeling觚d Ⅵ歹Tho，ZENG Q主咒g-压nng (C。zz昭eo，地吐删ic口Z口谢日8c￡r0行把幽g．，乩口n如订g‰iw邶幻o，i跏8陀^加zD删Qi糟如o，‰材伽g266510，CJ王i抛) arecharacterizedaS A Abstract：Ⅳ匝NIS multi-d删n u血versal and and∞mplexsystem＆ modeling that method and are intrC)ducedthe integratecOmplexcclmponemssubsystemscloselytogetherrequi试Thepaper stateofartsofMEMS and the mOdelingSinlulation，andpresentedpOrte(壬_basedmult卜donlain删elingmethodS， then and methodsV皿I，AMS，bondandlinear a11alyzed也em。deling∞nc印tiInpleme而ngusing graphs graphs， arld in leveLItindicateSthatumverSal of presented也e删elingapproachcc幔Lp。nent expreSsion isrealizedin is nlethOdsand K瞰hical achieved，andtheInOdeI— physicS pOn_basedrnodeling topdown modeling aJldsimulationofwholeM匝压Sc眦be done one andonesimulator． ing byomyrnodelinglanguage Key wordS：MEMS；modeling；simulation；multi-domain EEACC：2575 微机电系统基于端口的多领域建模和仿真于涛，曾庆良 (山东科技大学机电学院，山东青岛266510) 摘要：微机电系统是典型的多领域复杂系统，需要一种能够将复杂组件和子系统紧密集成跨领域的通用建模和仿真方法．介绍了微机电系统设计和仿真的现状，给出了基于端口的多领域建模概念，分析了其建模基础和基于VHDo√～MS、键合图和线图的实现方法，并给出了组件层次仿真的实现方法．分析表明，基于端口的建模实现了多领域物理现象的统一描述，并通过界面与实现的分离，实现了自上而下的层次化建模，可用一种仿真语言和仿真器实现整个M盼在S系统的建模与仿真．关键词：微机电系统；建模；仿真；多领域中图分类号：TH27l 文献标识码：A 微机