碳碳复合材料应用于直拉硅单晶生长的研究 the research of the carbon-graphite materials using for the cz crystal growth.pdfVIP

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2017-08-22 发布于上海
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碳碳复合材料应用于直拉硅单晶生长的研究 the research of the carbon-graphite materials using for the cz crystal growth.pdf

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碳碳复合材料应用于直拉硅单晶生长的研究 the research of the carbon-graphite materials using for the cz crystal growth

电子工业墓用设备 EPE 材料制备工艺碳／碳复合材料应用于直拉硅单晶生长的研究 i世檀．韩焕畦刘竹摘要：介绍T热系统在直拉硅单晶中的作用，时比75墨与碳／碳复合材料的生产过程和性能特点与蔓并通过在单品p上的实验应用，证明T碳／碳复合材料比；耍材料具有更好的实际口月娃蕞正直拉硅单晶领域具有艰奸的应用潜力分析7碳／璀复合材料的一些{足．井挺女7 相＆的解决方案美键词：碳／碱复合甘抖：直拉单晶妒，热系垃保￡装置 053 文献标识码：B 中图分类号：TN304 TheResearchofthe Materialsforthe Carbon—GraphiteUsing CZ Growth Crystal WANG HAN LIU Shiyuan Feng Huanpeng 46th 300220，China (The rehashinstltu№ofCETC]1ianjin describetheeffectofhotzoneinc11cCZ then the Abstract：This crystalgrowthanalysecompare paper andditlbrents and characters ofthemakingprocessbetweenGraphiteMaterial in both inthe ofCz cerli— rI“withtheresultsofthe materials crystal experimemusing growth grow【h the fvthatthe Materialshavebetlereffectthanthe Material．soCar— Carbon．Graphite Graphite Materialshouldbeavery materialinthe ofCZ Thelast bon—Graphite potential region products印。州h indicate蚰mc0ffhe Materialsmfad、icef^esolu- 乩fnmteasa；，a“∞and s‰lage Carbc,a-(3raphite tions ofheat Material；CZ furnace；Sy