提高高速压电倾斜镜应用带宽的方法 a method for increasing the applied bandwidth of piezoelectric fast steering mirror.pdfVIP

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2017-08-22 发布于上海
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提高高速压电倾斜镜应用带宽的方法 a method for increasing the applied bandwidth of piezoelectric fast steering mirror

第36卷第7期光电工程、，01．36．No．7 2009年7月 Opto-Electronic July，2009 Engineering 文章编号：1003—501X(2009)07—0060—05 提高高速压电倾斜镜应用带宽的方法朱 a’1b 衡1a,2，陈东红la,lb，凌宁la,lb，姜文汉1 (1．中国科学院a．光电技术研究所自适应光学研究室· 0209， b．自适应光学重点实验室，成都61 2．中国科学院研究生院，北京100039) 摘要：本文提出了一种基于薄板径向支撑的高速压电倾斜镜。首先根据拉格朗日方程建立了这种基于薄板径向支撑的高速压电倾斜镜简化模型的动力学方程，然后推导出了其倾斜方向谐振频率理论表达式；根据理论表达式可以预测倾斜镜的动态性能。在理论分析的基础上，我们制作了这种薄板结构，将其加入到原有结构倾斜镜中，进行了频响测试以及角行程测试分析。比较理论分析和实验测试分析的结果，证实了薄板部件的加入对于倾斜镜应用带宽的提高有显著作用．关键词：高速压电倾斜镜；薄板径向支撑；动力学分析；自适应光学系统中图分类号：0439 文献标志码：A AMethodfor the Bandwidthof IncreasingApplied PiezoelectricFast Mirror Steering ZHU Wen．hanla，1b Hengl。，-，CHENGDong．hon91叠’lb，LINGNin918，1h，JIANG on andElectronics； (1．a．TheLaboratoryAdaptiveOptics，InstituteofOptics b．The on KeyLaboratoryAdaptiveOptics，ChineseAcademyofSciences，Chengdu610209，China； 2．GraduateSchool ofChineseAcademy 100039，China) ofSciences，Beijing bandwidth Fast Abstract：Anewmethodtoincreasethe of Mirror(FSM)is applied piezoelectricSteering proposed． tothe for modelofthisFSMWasbuiltbasedonradial Firstly,accordingLagrangeEquation，dynamicequationsimplified