铁电微管的制备与表征 fabrication and characterization of ferroelectric micro-tubes.pdfVIP

第30卷第l期 电 子 显 微 学 报 v01．30．No．1 ofChine8eElectmn 2011．02 2011年2月 Joumal MicroscopySociety 文章编号：1000-6281(2011)Ol舢7旬5 铁电微管的制备与表征 刘敬松，代 波，曹林洪，霍冀川 (四)Il省非金属复合与功能材料重点实验室一省部共建国家重点实验室培育基地， 西南科技大学，四川绵阳621010) 擒 耍：采用化学漫润法在多孔硅模板上制备了锆钛酸铅(Pbzro，：Ti。．。0，．PzT)铁电微管。x射线衍射分析表明 铁电微管为钙钛矿姑构。运用扫描电子显微镜和原子力亚微镜对铁电微管的微现形貌进行了观察，其结果显示两 种方法所测得的铁电微管直径不同。利用压电响应力显微镜现察到了铁电微管的电畴图像，并测得了铁电微管的 微区电滞回线。对铁电微管电畴和微区电性能的研究可为蚋米结构铁电材料的新效应研究提供支持。 关键词：铁电微管；微观结构；微区电性能 中围分类号：TM22；TB383；TGll5．2l+5文献标识码：A 具有纳米结构的铁电微管及纳米管可应用于铁 购买的磷掺杂多孔硅，其电阻率为10Q·cm，孔径约 电存储器来提高存储密度，并由于在激光作用下可 3恤m，孔呈正方形阵列分布，孔间距约3斗m。Pz前 发射太赫兹电磁波而受到广泛关注…。朱信华等 驱体溶液采用醋酸铅、异丙醇锫、钛酸丁酯、乙酰丙 在氧化铝模板上采用化学浸渍涂敷法和脉冲激光淀 酮、乙二醇甲醚等分析纯的化学试剂经过溶解、蒸 积法分别制备了纳米尺度的Pbzro．，，Ti¨，O，和 馏、回流等过程制备。其摩尔浓度为0．04moL／L， ．Zr／Ti为52／48。 BaTiO，纳米膜，并对它们的微结构和电性能进行了 研究¨一。。李春阳等采用溶胶一凝胶法在氧化铝模 PzT铁电微管的制备过程是：在手套箱中将多 板上制备了多铁性BiFeO，纳米管，对其微结构和化孔硅模板置于装有PzT前驱体溶液的容器中，手套 学组成进行了研究Ho。钱哲理等采用溶胶一凝胶 箱抽真空使箱内气压降至0．7MPa，并保持30min。 取出模板置于下部装有氯化镁饱和溶液的干燥器中 法在氧化铝模板上制备了K¨Na。．，NbO，纳米管，并 对其微观结构和宏观性能进行了研究】。现代半 l h让其充分吸潮，取出置于烘箱中在80℃干燥20 导体工艺主要以硅为基底，以氧化铝等其它材料为 min。然后，在箱式电阻炉中以2℃／min的升温速 基底其兼容性稍有欠缺。为了在硅基底上制备铁电 率升至300℃保温30min以排除挥发物，之后以10 ℃／min的升温速率升至650℃保温20min使PzT 微管，Bhamdwaja研究小组和Mo州son小组分别采 用真空浸渍法和非真空浸渍法制备了组成位于准同 结晶。结晶后的样品表面经机械抛光、超声清洗，最 后采用30 型相界附近的PZT微管(直径1．5—2．0斗m)，研究 wt．％KOH溶液侵蚀去除Si基体后得到 了其微观结构¨’“。激光作用下能发射太赫兹电磁 所需样品。样品的厚度约0．2mm。 波这一新效应的发现，赋予了纳米结构的铁电管在 PzT铁电微管的晶体结构采用D／Max-RB型x 通信、医疗、生物及安全控制等方面新的应用，其新 射线衍射仪进行分析，使用TM-1000型扫描电子显 效应的产生被认为与微区极化反转有关…。目前， 关于铁电纳米管微区电畴及电性能