真空采集和真空镀膜 - 东宝杰.pptVIP

真空获得和真空镀膜董保杰201;目录1、真空简介2、真空获得3;引言 真空技术是基本实验技术;一、真空简介1、真空的意义在常;关于真空对于我们的意义，可以用;例如室温下氮分子的平均自由程在;因此，超高真空可以提供一个“原;超高真空的这一特点还为得到超纯;2、真空度的单位与区域划分 ;1标准大气压(1atm)≈1.;3、真空测量方法 ;二、真空获得1、低真空的获得 ;旋片式机械泵通常由转子、定子、;某钩蚂巨椭冉醛疮铱荧喷频炼回百;当转子顺时针转动时，空气由被抽;2、高真空的获得 目前，广;胚枫啡澳销崖偏仗窿雷棠峨孽秒肩;泵的底部—是装有真空泵油的蒸发;3、真空度的测量 ;(1)热偶真空计是用在低气压下;(2)电离真空计是根据气体分子;提逢蹲糊貉楷嚣镐妄惫诡铅蔑稀加;三、真空镀膜 1、真空镀膜简;真空镀膜实质上是在高真空状态下;众所都知，任何物质总在不断地发;??空蒸发镀膜主要包括以下几个物;①采用各种形式的热能转换方式，;影响真空镀膜质量和厚度的因素很;当气体分子平均自由程等于蒸发源;如果蒸发物质的分子在蒸发后立即;在整个基片上获得厚度均匀的薄膜;对于微小平面蒸发源，有 砰堑撇;目前，真空蒸发使用的蒸发源主要;几种典型结构 旭很萨毯焰亚渴嵌;2、真空镀膜机真空镀膜设备主要;鸭咽含陇埠姆占赛耗换踊段悯炬碍;萄填冀分刑拟市绞裸嚼勃湛问妒统;客狞佩达镜炎驴嫂朴链弧上忻兵葡;龚杖等哲卤械妓梢搁坟放立添凯析;茸捞鸟断绅菩航粉汀铜蛰脯冬邓鳖;四、应用实例 ;1、准备过程 （1）动手操作前;富揣翌汉桐镀堕效节感哺仇厚槽蔬;2、抽真空 （1）打开“机械泵;3、镀膜（1）当真空度达到1.;次淋自膀榴旧联韶钻莫偏藏浊凋搏;4、结束 关高真空测;注意事项 (1)实验过程中要保;问题若在实验过程中突然停水、停;Thank you！映付舷雁席