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ito靶材的制备
ITO靶材
ITO靶材简介
ITO靶材是三氧化二铟和二氧化锡的混合物,是薄膜制备的重要原料靶主要用于膜透明导电玻璃的制作,后者是制造平面液晶显示的主要材料,在电子工业、信息产业方面有着广阔而重要的应用。利用加热加工模具后,注入试料,以压力将模型固定于加热板,控制试料之熔融温度及时间,以达融化后硬化、冷却,再予以取出模型成品即可。冷等静压技术(Cold Isostatic Pressing简称CIP是在常温下,通常用橡胶或塑料作包套模具材料,以液体为压力介质液体传递超高压粉末成型,为进一步烧结,煅造或热等静压工序提供坯体。一般使用压力为100~ 630MPa。与机械压制相比,由于冷等静压制压力大,工件受力均匀,特别适宜压制大尺寸的粉末制品。压制的粉末制品具有密度高,密度均匀,压制的粉末不需添加润滑剂等优点。 2 0 0 ×1 5 0 ×( 6 ~1 0 ) mm
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